ArF光源激光器腔体温度控制方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题的背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-12页 |
| 1.3 课题研究主要内容以及主要工作 | 第12-14页 |
| 2 ArF光源激光器温度控制方案设计 | 第14-32页 |
| 2.1 ArF准分子激光器腔体温度控制需求分析 | 第14-15页 |
| 2.2 温控系统方案设计与分析 | 第15-25页 |
| 2.3 硬件设计 | 第25-28页 |
| 2.4 软件设计 | 第28-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 单闭环温度控制结构及控制器实现 | 第32-47页 |
| 3.1 各对象传递函数模型 | 第32-39页 |
| 3.2 控制参数稳定域的计算 | 第39-44页 |
| 3.3 单闭环回路温度控制 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 串级温度控制结构及控制器实现 | 第47-73页 |
| 4.1 串级温度控制结构 | 第47-53页 |
| 4.2 前馈-串级温度控制结构 | 第53-57页 |
| 4.3 模糊PID-串级控制算法设计 | 第57-62页 |
| 4.4 算法控制流程图 | 第62-63页 |
| 4.5 算法仿真 | 第63-72页 |
| 4.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 5 总结与展望 | 第73-75页 |
| 5.1 全文总结 | 第73页 |
| 5.2 研究展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
