| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 引言 | 第12-15页 |
| 1.2 FBAR的工作原理及结构 | 第15-20页 |
| 1.2.1 FBAR的工作原理 | 第15-18页 |
| 1.2.2 FBAR的结构 | 第18-20页 |
| 1.3 FBAR技术的发展历史 | 第20-22页 |
| 1.4 FBAR的国内外研究现状与发展趋势分析 | 第22-28页 |
| 1.4.1 国外研究现状 | 第22-25页 |
| 1.4.2 国外发展趋势 | 第25-28页 |
| 1.4.3 国内研究现状与差距 | 第28页 |
| 1.5 论文选题及研究方案 | 第28-30页 |
| 第二章 FBAR器件设计 | 第30-47页 |
| 2.1 FBAR谐振器的设计 | 第30-35页 |
| 2.1.1 FBAR谐振器设计基础 | 第30-34页 |
| 2.1.2 谐振器仿真与版图设计 | 第34-35页 |
| 2.2 FBAR滤波器设计技术 | 第35-46页 |
| 2.2.1 FBAR谐振器参数提取 | 第36-37页 |
| 2.2.2 FBAR滤波器电路结构设计 | 第37-43页 |
| 2.2.3 FBAR滤波器一维模型仿真与版图设计 | 第43-45页 |
| 2.2.4 FBAR外围电路电磁仿真 | 第45-46页 |
| 2.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 FBAR工艺流程设计与关键工艺研究 | 第47-71页 |
| 3.1 FBAR工艺流程设计 | 第47-49页 |
| 3.2 FBAR器件关键工艺研究 | 第49-70页 |
| 3.2.1 压电薄膜 | 第50-53页 |
| 3.2.2 金属电极 | 第53-58页 |
| 3.2.3 牺牲层 | 第58-66页 |
| 3.2.4 金属电极小角度刻蚀工艺 | 第66-70页 |
| 3.3 本章小结 | 第70-71页 |
| 第四章 FBAR谐振器的研制 | 第71-87页 |
| 4.1 FBAR谐振器的制备 | 第71-78页 |
| 4.2 FBAR谐振器性能分析 | 第78-79页 |
| 4.3 FBAR谐振器性能优化 | 第79-85页 |
| 4.3.1 FBAR谐振器杂波优化 | 第79-82页 |
| 4.3.2 FBAR谐振器损耗优化 | 第82-85页 |
| 4.4 本章小结 | 第85-87页 |
| 第五章 FBAR滤波器的研制 | 第87-96页 |
| 5.1 FBAR滤波器的制备及性能测试 | 第87-89页 |
| 5.2 FBAR滤波器的封装 | 第89-95页 |
| 5.3 本章小结 | 第95-96页 |
| 第六章 单片微声薄膜射频信号处理器的研制 | 第96-108页 |
| 6.1 单片微声薄膜射频信号处理器结构 | 第96-97页 |
| 6.2 FBAR滤波器与RFIC单片集成兼容性研究 | 第97-102页 |
| 6.3 单片微声薄膜射频信号处理器设计与研制 | 第102-107页 |
| 6.4 本章小结 | 第107-108页 |
| 第七章 结论 | 第108-110页 |
| 7.1 结论 | 第108-109页 |
| 7.2 后期工作展望 | 第109-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-121页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第121页 |