多组合设备的Petri网建模及优化调度
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| Contents | 第12-15页 |
| 图索引 | 第15-16页 |
| List of Figures | 第16-17页 |
| 表索引 | 第17页 |
| List of Tables | 第17-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-30页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第18-20页 |
| 1.1.1 选题背景 | 第18-19页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第19-20页 |
| 1.2 多组合设备的生产调度概述 | 第20-28页 |
| 1.2.1 半导体制造中使用组合设备 | 第20-23页 |
| 1.2.2 组合设备制造系统的构成 | 第23-24页 |
| 1.2.3 生产过程及运行要求 | 第24-26页 |
| 1.2.4 晶圆流模式 | 第26页 |
| 1.2.5 系统调度的基本概念 | 第26-28页 |
| 1.3 本研究课题的研究内容 | 第28-30页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第28页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 组合设备的调度研究综述 | 第30-45页 |
| 2.1. 引言 | 第30-32页 |
| 2.2. 多组合设备的调度和控制 | 第32-34页 |
| 2.2.1 问题描述 | 第32-33页 |
| 2.2.2 问题复杂性 | 第33-34页 |
| 2.3. 基于设备的结构特征的调度 | 第34-38页 |
| 2.3.1 基本配置 | 第34-37页 |
| 2.3.2 具有并行模块的结构 | 第37-38页 |
| 2.4. 基于设备的运行特征的调度 | 第38-41页 |
| 2.4.1 晶圆驻留时间约束 | 第38-39页 |
| 2.4.2 活动时间波动 | 第39-40页 |
| 2.4.3 混合产品 | 第40-41页 |
| 2.4.4 多重入过程 | 第41页 |
| 2.5. 建模和调度方法总结 | 第41-44页 |
| 2.6. 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 面向资源Petri网与多组合设备设备建模 | 第45-55页 |
| 3.1 Petri网 | 第45-48页 |
| 3.1.1 引言 | 第45-46页 |
| 3.1.2 有限容量PN | 第46-48页 |
| 3.2 ROPN | 第48页 |
| 3.2.1 工件生产过程的建模 | 第48页 |
| 3.2.2 物料处理过程的建模 | 第48页 |
| 3.3 线性结构多组合设备的ROPN模型 | 第48-54页 |
| 3.3.1 组合设备的结构特征 | 第48-49页 |
| 3.3.2 晶圆流的ROPN | 第49-53页 |
| 3.3.3 活动时间建模 | 第53-54页 |
| 3.4 小结 | 第54-55页 |
| 第四章 晶圆周期调度及其节拍下界 | 第55-71页 |
| 4.1 单个组合设备调度 | 第55-58页 |
| 4.2 K-组合设备调度 | 第58-66页 |
| 4.2.1 最优性分析 | 第58-62页 |
| 4.2.2 K-组合设备调度 | 第62-65页 |
| 4.2.3 调度的实现 | 第65-66页 |
| 4.3 实例 | 第66-69页 |
| 4.4 小结 | 第69-71页 |
| 第五章 晶圆周期调度的存在性和求解 | 第71-84页 |
| 5.1 引言 | 第71-72页 |
| 5.2 求解最优1-晶圆周期调度 | 第72-81页 |
| 5.2.1 情形1的调度 | 第72-76页 |
| 5.2.2 情形2的调度 | 第76-81页 |
| 5.3 实例 | 第81-83页 |
| 5.4 小结 | 第83-84页 |
| 第六章 树形结构多组合设备的1-晶圆周期调度 | 第84-96页 |
| 6.1 树形结构多组合设备的组成及运行 | 第84-87页 |
| 6.2 最优性分析 | 第87-88页 |
| 6.3 可调度性验证 | 第88-91页 |
| 6.4 求解达周期下界的调度 | 第91-94页 |
| 6.5 实例 | 第94-95页 |
| 6.6 小结 | 第95-96页 |
| 结论 | 第96-98页 |
| 结论 | 第96-97页 |
| 未来的工作展望 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-108页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第108-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 附录 | 第112-118页 |
