聚合物光刻胶超声时效机理与实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| ·光刻工艺中SU-8胶层中的内应力问题 | 第10-12页 |
| ·SU-8胶层中内应力对微结构制作的影响 | 第10-11页 |
| ·SU-8胶层中内应力去除的研究现状 | 第11-12页 |
| ·超声波技术的研究概况 | 第12-13页 |
| ·课题研究内容 | 第13-15页 |
| 2 超声时效机理 | 第15-24页 |
| ·SU-8胶层中内应力的分析 | 第15-16页 |
| ·超声时效消除SU-8胶层内应力的机理 | 第16-23页 |
| ·超声时效机理分析 | 第16-18页 |
| ·SU-8胶层中温度的仿真分析 | 第18-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 SU-8胶内应力的测量与计算 | 第24-34页 |
| ·SU-8胶层内应力测量方法 | 第24-25页 |
| ·对轮廓法测量误差的修正 | 第25-26页 |
| ·SU-8胶层内应力误差修正实验 | 第26-32页 |
| ·实验过程 | 第26-29页 |
| ·数据处理过程 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 SU-8胶内应力的超声时效实验研究 | 第34-52页 |
| ·超声时效装置工作台振幅的仿真分析 | 第34-39页 |
| ·超声时效装置 | 第34页 |
| ·模型建立及网格划分 | 第34-35页 |
| ·模态分析 | 第35-36页 |
| ·谐响应分析 | 第36-39页 |
| ·SU-8胶超声时效定量分析实验 | 第39-47页 |
| ·实验材料与设备 | 第39-40页 |
| ·实验过程 | 第40-41页 |
| ·实验结果 | 第41-44页 |
| ·结果分析与讨论 | 第44-47页 |
| ·超声时效在SU-8胶微结构制作方面的应用 | 第47-51页 |
| ·实验材料与样片制备 | 第47-48页 |
| ·实验过程及结果分析 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 超声时效工艺参数的优化选择 | 第52-60页 |
| ·SU-8胶层内应力消除率的正交实验 | 第52-54页 |
| ·正交实验过程 | 第52页 |
| ·正交实验结果及极差分析 | 第52-54页 |
| ·SU-8胶层内应力消除率的BP神经网络优化 | 第54-58页 |
| ·对样本数据的预处理 | 第54-55页 |
| ·网络结构的确定及参数选择 | 第55页 |
| ·BP神经网络仿真 | 第55-56页 |
| ·仿真结果及实验验证 | 第56-58页 |
| ·SU-8胶层内应力消除效果对比实验 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
