SKH51钢表面渗氮及热丝增强等离子体磁控溅射制备氮化铬涂层
| 中文摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 1.绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 离子渗氮 | 第9-12页 |
| 1.2.1 离子渗氮原理 | 第9-10页 |
| 1.2.2 离子渗氮特点 | 第10-11页 |
| 1.2.3 纯氮气离子渗氮 | 第11页 |
| 1.2.4 离子渗氮新技术及设备 | 第11-12页 |
| 1.3 真空镀膜 | 第12-15页 |
| 1.3.1 物理气相沉积(PVD) | 第12-13页 |
| 1.3.2 反应磁控溅射 | 第13-15页 |
| 1.4 渗氮/镀膜复合处理 | 第15页 |
| 1.5 本课题研究的内容和意义 | 第15-16页 |
| 1.5.1 本课题研究的内容 | 第15页 |
| 1.5.2 本课题研究的意义 | 第15-16页 |
| 2.实验方案 | 第16-26页 |
| 2.1 实验研究思路 | 第16-18页 |
| 2.2 实验设备 | 第18-19页 |
| 2.3 实验材料 | 第19页 |
| 2.4 实验流程 | 第19-20页 |
| 2.4.1 实验前基体预处理 | 第19页 |
| 2.4.2 实验过程 | 第19-20页 |
| 2.5 涂层微观分析 | 第20-22页 |
| 2.4.1 超精深显微镜 | 第20页 |
| 2.4.2 扫描电子显微镜与能谱仪 | 第20-21页 |
| 2.4.3 XRD结构分析 | 第21-22页 |
| 2.6 涂层性能分析 | 第22-26页 |
| 2.6.1 涂层厚度的测量 | 第22页 |
| 2.6.2 涂层结合强度的测量 | 第22-23页 |
| 2.6.3 耐磨性能的测试 | 第23-24页 |
| 2.6.4 涂层硬度的测量 | 第24-26页 |
| 3.热丝增强等离子体高速钢渗氮 | 第26-36页 |
| 3.1 工艺参数 | 第26-27页 |
| 3.2 实验结果讨论和分析 | 第27-35页 |
| 3.2.1 对渗氮层厚度的影响 | 第27-28页 |
| 3.2.2 对渗氮层形貌的影响 | 第28-29页 |
| 3.2.3 渗氮层的相结构 | 第29-30页 |
| 3.2.4 渗氮层纳米硬度及弹性模量 | 第30-33页 |
| 3.2.5 渗氮层的耐磨性及磨损轮廓 | 第33-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 4.热丝增强等离子体制备氮化铬涂层 | 第36-63页 |
| 4.1 靶电流对制备氮化铬涂层的影响 | 第36-45页 |
| 4.1.1 工艺参数设定 | 第36-37页 |
| 4.1.2 实验结果与分析 | 第37-44页 |
| 4.1.3 小结 | 第44-45页 |
| 4.2 热丝放电电流对氮化铬涂层的影响 | 第45-54页 |
| 4.2.1 工艺参数 | 第45-46页 |
| 4.2.2 实验结果与分析 | 第46-53页 |
| 4.2.3 小结 | 第53-54页 |
| 4.3 镀膜偏压对氮化铬涂层的影响 | 第54-63页 |
| 4.3.1 工艺参数 | 第54-55页 |
| 4.3.2 实验结果与分析 | 第55-62页 |
| 4.3.3 小结 | 第62-63页 |
| 5.热丝增强等离子体一体化制备渗氮/氮化铬涂层 | 第63-71页 |
| 5.1 工艺参数 | 第63-64页 |
| 5.2 实验结果与分析 | 第64-70页 |
| 5.2.1 形貌及结构 | 第64页 |
| 5.2.2 渗氮/氮化铬涂层物相结构 | 第64-65页 |
| 5.2.3 渗氮/氮化铬涂层纳米硬度及弹性模量 | 第65-67页 |
| 5.2.4 渗氮/氮化铬涂层耐磨性 | 第67-69页 |
| 5.2.5 渗氮/氮化铬涂层结合强度 | 第69-70页 |
| 5.3 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 作者简介 | 第75-76页 |
