| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 符号表 | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 KDP晶体人工生长的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 KDP晶体结构简介 | 第11-12页 |
| 1.2.2 KDP晶体快速生长的研究 | 第12-13页 |
| 1.2.3“三维平动生长法”的提出 | 第13-14页 |
| 1.3 KDP晶体开裂的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 材料开裂的研究背景 | 第14-15页 |
| 1.3.2 KDP晶体应力分析的研究背景 | 第15-16页 |
| 1.3.3 KDP晶体开裂的判断依据 | 第16-17页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 KDP晶体三维平动生长过程中的应力分析 | 第18-34页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 应力分析基础 | 第18-23页 |
| 2.2.1 应力与应变的概念 | 第18-19页 |
| 2.2.2 弹性力学简介 | 第19-21页 |
| 2.2.3 ANSYS软件简介 | 第21-23页 |
| 2.3 应力分析模型 | 第23-25页 |
| 2.3.1 几何模型和网格划分 | 第23-24页 |
| 2.3.2 物理模型和物性参数 | 第24-25页 |
| 2.4 计算结果及分析 | 第25-32页 |
| 2.4.1 匀速运动时KDP晶体内部的应力分布 | 第25-27页 |
| 2.4.2 掣晶杆形状和尺寸对晶体生长应力的影响 | 第27-29页 |
| 2.4.3 不同位置下晶体内部的最大主应力 | 第29-30页 |
| 2.4.4 加速度和速度对晶体内部最大主应力的影响 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 KDP晶体二维平动生长过程中的应力分析 | 第34-41页 |
| 3.1 引言 | 第34-35页 |
| 3.2 应力分析模型 | 第35-37页 |
| 3.2.1 几何模型和网格划分 | 第35-36页 |
| 3.2.2 物理模型 | 第36-37页 |
| 3.3 计算结果及分析 | 第37-40页 |
| 3.3.1 吊装生长KDP晶体内部的应力状态 | 第37-39页 |
| 3.3.2 托盘生长KDP晶体内部的应力状态 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 KDP晶体出槽冷却过程中的应力分析 | 第41-54页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 KDP出槽冷却过程应力分析基础 | 第41-42页 |
| 4.3 应力分析模型 | 第42-45页 |
| 4.3.1 几何模型和网格划分 | 第42-43页 |
| 4.3.2 物理模型和物性参数 | 第43-45页 |
| 4.4 计算结果及分析 | 第45-53页 |
| 4.4.1 KDP晶体出槽冷却过程中的应力状态 | 第45-49页 |
| 4.4.2 KDP晶体出槽冷却过程中晶体内部的温度分布 | 第49-51页 |
| 4.4.3 讨论 | 第51-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 5 结论与展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 附录 | 第61页 |
| A 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第61页 |
| B 作者在攻读学位期间参与申请的专利 | 第61页 |
| C 作者在攻读学位期间参与的科研项目 | 第61页 |