| 内容提要 | 第1-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第8-10页 |
| ·ZnO的应用前景 | 第10-12页 |
| ·透明电极 | 第10页 |
| ·紫外光探测器 | 第10-11页 |
| ·发光器件 | 第11页 |
| ·气体传感器 | 第11-12页 |
| ·ZnO的掺杂和多层膜的研究现状 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 ZnO/metal/ZnO透射理论模拟 | 第14-26页 |
| ·Matlab模拟计算透射率的理论基础 | 第14-16页 |
| ·ZnO层厚度对ZnO/metal/ZnO膜系透射率的影响 | 第16-18页 |
| ·metal层厚度对ZnO/metal/ZnO膜系透射率的影响 | 第18-19页 |
| ·两层ZnO的厚度差异对ZnO/metal/ZnO膜系透射率的影响 | 第19-21页 |
| ·层数对ZnO/metal/ZnO膜系透射率的影响 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 薄膜的制备和表征 | 第26-36页 |
| ·磁控溅射原理 | 第26-28页 |
| ·薄膜的形成 | 第28-29页 |
| ·镀膜设备介绍 | 第29-31页 |
| ·磁控溅射流程 | 第31-32页 |
| ·检测手段 | 第32-36页 |
| ·X射线衍射物相分析（XRD） | 第32-33页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第33页 |
| ·透射谱 | 第33页 |
| ·膜厚测量 | 第33-34页 |
| ·四探针法测方块电阻 | 第34-36页 |
| 第4章 ZnO薄膜沉积及其参数研究 | 第36-54页 |
| ·ZnO薄膜的确定 | 第36-38页 |
| ·溅射功率对ZnO结构、形貌和透射率的影响 | 第38-42页 |
| ·氩氧流量比对ZnO形貌和结构的影响 | 第42-45页 |
| ·溅射压强对ZnO结构、形貌和透射率的影响 | 第45-48页 |
| ·退火处理对ZnO形貌和结构的影响 | 第48-52页 |
| ·薄膜厚度与沉积时间的关系 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 ZnO/Cu/ZnO的透光和导电特性研究 | 第54-66页 |
| ·ZnO层厚度对透光和导电特性的影响 | 第54-56页 |
| ·Cu层对膜系透光和导电特性的影响 | 第56-59页 |
| ·氩氧流量比对膜系透光和导电特性的影响 | 第59-60页 |
| ·热处理温度对膜系透光和导电特性的影响 | 第60-61页 |
| ·样品的透射谱与理论计算的比较 | 第61-63页 |
| ·ZnO/metal/ZnO导电机理分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 论文总结 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 中文摘要 | 第73-77页 |
| Abstract | 第77-81页 |
