| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-34页 |
| 1.1 研究课题的背景和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 红外成像技术 | 第13-21页 |
| 1.2.1 红外辐射 | 第13-14页 |
| 1.2.2 传统红外成像探测器 | 第14-16页 |
| 1.2.3 微光机悬臂梁阵列红外探测器 | 第16-21页 |
| 1.3 太赫兹成像技术 | 第21-31页 |
| 1.3.1 太赫兹辐射特点 | 第21-22页 |
| 1.3.2 太赫兹辐射的产生和探测 | 第22-24页 |
| 1.3.3 太赫兹成像研究概况 | 第24-31页 |
| 1.4 本文的主要研究内容、结构安排及创新点 | 第31-34页 |
| 第二章 微光机悬臂梁阵列红外探测器及其光学读出方法 | 第34-46页 |
| 2.1 微悬臂梁阵列红外成像探测器 | 第34-37页 |
| 2.1.1 探测器原理及结构 | 第34-36页 |
| 2.1.2 探测器的噪声分析 | 第36-37页 |
| 2.2 用于微悬臂梁阵列红外探测器的光学读出方法 | 第37-39页 |
| 2.2.1 针孔滤波光学读出法 | 第37-38页 |
| 2.2.2 刀口滤波光学读出法 | 第38-39页 |
| 2.3 窄带滤波光学读出方法 | 第39-45页 |
| 2.3.1 窄带滤波读出方法原理及理论分析 | 第39-43页 |
| 2.3.2 窄带滤波读出方法实验及结果分析 | 第43-45页 |
| 2.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 应用于微悬臂梁阵列成像系统的开窗异或和像素匹配法 | 第46-59页 |
| 3.1 开窗异或法 | 第46-51页 |
| 3.1.1 开窗异或法原理 | 第46-48页 |
| 3.1.2 开窗异或法实验 | 第48-50页 |
| 3.1.3 对于开窗异或法的分析和讨论 | 第50-51页 |
| 3.2 像素匹配法 | 第51-58页 |
| 3.2.1 像素匹配法原理 | 第51-53页 |
| 3.2.2 像素匹配法实验 | 第53-58页 |
| 3.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 微悬臂梁阵列成像系统在短波、中波、长波红外波段成像研究 | 第59-66页 |
| 4.1 微悬臂梁阵列红外成像系统能否响应多个红外波段 | 第59-60页 |
| 4.1.1 红外波段的划分 | 第59-60页 |
| 4.1.2 微悬臂梁阵列红外成像系统响应多个红外波段 | 第60页 |
| 4.2 短波红外波段成像实验 | 第60-62页 |
| 4.3 中波红外波段成像实验 | 第62-64页 |
| 4.4 长波红外波段成像实验 | 第64-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 微悬臂梁阵列红外成像系统可容忍探测温度分析 | 第66-74页 |
| 5.1 可容忍探测温度定义及计算方法 | 第66-68页 |
| 5.1.1 可容忍探测温度定义 | 第66-67页 |
| 5.1.2 可容忍探测温度计算方法 | 第67-68页 |
| 5.2 微悬臂梁焦平面阵列激光损坏实验 | 第68-70页 |
| 5.3 微悬臂梁损坏临界角测量方法 | 第70-72页 |
| 5.4 可容忍探测温度的计算结果 | 第72页 |
| 5.6 本章小结 | 第72-74页 |
| 第六章 自适应全反射光学读出方法 | 第74-82页 |
| 6.1 自适应全反射光学读出方法优势 | 第74-75页 |
| 6.2 自适应全反射光学读出方法原理 | 第75-77页 |
| 6.3 自适应全反射光学读出方法实验 | 第77-79页 |
| 6.4 自适应全反射光学读出方法性能分析 | 第79-80页 |
| 6.5 本章小结 | 第80-82页 |
| 第七章 基于超材料结构的悬臂梁阵列太赫兹成像探测器 | 第82-98页 |
| 7.1 超材料及吸波材料简介 | 第82-84页 |
| 7.2 对称型单波段太赫兹成像探测器 | 第84-86页 |
| 7.2.1 结构设计 | 第84-85页 |
| 7.2.2 电磁仿真 | 第85-86页 |
| 7.3 非对称型单波段太赫兹成像探测器 | 第86-89页 |
| 7.3.1 结构设计 | 第86-88页 |
| 7.3.2 电磁仿真 | 第88-89页 |
| 7.4 对称型双波段太赫兹成像探测器 | 第89-92页 |
| 7.4.1 结构设计 | 第89-90页 |
| 7.4.2 电磁仿真 | 第90-92页 |
| 7.5 探测器透射率测试实验 | 第92-94页 |
| 7.6 探测器热机械响应实验 | 第94-96页 |
| 7.7 本章小结 | 第96-98页 |
| 第八章 总结与展望 | 第98-102页 |
| 8.1 总结 | 第98-99页 |
| 8.2 创新点 | 第99-100页 |
| 8.3 展望 | 第100-102页 |
| 参考文献 | 第102-116页 |
| 攻读博士学位期间发表和完成的学术论文 | 第116-119页 |
| 攻读博士学位期间申请的专利 | 第119-120页 |
| 攻读博士学位期间参与的科研项目及获得的奖励 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
| 作者简介 | 第122页 |
