等离子喷涂Al2O3掺杂ZnO溅射靶材的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 透明导电薄膜概况 | 第9-10页 |
| 1.1.1 透明导电薄膜的透明导电机理 | 第9-10页 |
| 1.1.2 透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第10页 |
| 1.2 掺铝氧化锌（AZO）材料 | 第10-13页 |
| 1.2.1 ZnO 及其结构 | 第10-11页 |
| 1.2.2 掺铝氧化锌（AZO）的导电机理 | 第11-12页 |
| 1.2.3 掺铝氧化锌（AZO）的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 溅射靶材及研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3.1 溅射靶材的基本要求 | 第13-14页 |
| 1.3.2 溅射靶材的分类 | 第14页 |
| 1.3.3 溅射靶材的制备方法 | 第14-15页 |
| 1.3.4 掺铝氧化锌（AZO）靶材的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4 等离子喷涂技术 | 第17-18页 |
| 1.4.1 等离子喷涂技术的原理 | 第17页 |
| 1.4.2 等离子喷涂技术的特点 | 第17-18页 |
| 1.4.3 等离子喷涂技术的现状及应用 | 第18页 |
| 1.5 本课题选题意义及主要研究内容 | 第18-21页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第18-19页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 实验材料、设备及方法 | 第21-27页 |
| 2.1 实验材料 | 第21-22页 |
| 2.2 实验方法与设备 | 第22-27页 |
| 2.2.1 AZO 喷涂喂料的制备 | 第22-23页 |
| 2.2.2 靶材涂层的制备 | 第23-24页 |
| 2.2.3 粉体与涂层组织结构表征 | 第24-25页 |
| 2.2.4 涂层电阻率的测定 | 第25-27页 |
| 第三章 等离子喷涂 AZO 喂料的制备及表征 | 第27-41页 |
| 3.1 以微米粉为原料的喷涂喂料 | 第27-36页 |
| 3.1.1 制备过程 | 第27-28页 |
| 3.1.2 粉体的形貌与相结构 | 第28-30页 |
| 3.1.3 掺杂量对 AZO 粉体相组成的影响 | 第30-32页 |
| 3.1.4 煅烧温度对 AZO 粉体相组成的影响 | 第32-34页 |
| 3.1.5 保温时间对 AZO 粉体相组成的影响 | 第34-36页 |
| 3.2 以纳米粉为原料的喷涂喂料 | 第36-39页 |
| 3.2.1 制备工艺 | 第36-37页 |
| 3.2.2 固含量对喷涂喂料性能的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.3 喷涂喂料的表征 | 第38-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 等离子喷涂 AZO 涂层的研究 | 第41-55页 |
| 4.1 涂层的制备 | 第41-44页 |
| 4.1.1 基体预处理 | 第41页 |
| 4.1.2 喷涂工艺参数的正交实验 | 第41-44页 |
| 4.2 涂层组织形貌 | 第44-49页 |
| 4.2.1 涂层表面 | 第44-45页 |
| 4.2.2 涂层截面 | 第45-47页 |
| 4.2.3 涂层相结构 | 第47-48页 |
| 4.2.4 涂层孔隙率 | 第48-49页 |
| 4.3 涂层 XPS 分析 | 第49-52页 |
| 4.4 涂层电阻率 | 第52-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
