高性能复杂光学系统的偏振光传输分析
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 研究复杂系统的偏振特性的意义 | 第9-10页 |
| 1.3 光学系统偏振分析的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 2 偏振像差基本理论 | 第14-26页 |
| 2.1 偏振像差来源 | 第14-15页 |
| 2.2 偏振描述所用算法 | 第15-18页 |
| 2.2.1 Jones算法与三维偏振算法 | 第16-17页 |
| 2.2.2 Mueller算法 | 第17-18页 |
| 2.3 偏振像差函数及其计算方法 | 第18-25页 |
| 2.3.1 偏振像差函数 | 第18-20页 |
| 2.3.2 偏振光追迹法 | 第20-21页 |
| 2.3.3 偏振像差法 | 第21-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 实际系统中的偏振像差研究 | 第26-37页 |
| 3.1 实际系统的偏振分析 | 第26-34页 |
| 3.1.1 高数值孔径光刻系统 | 第26-31页 |
| 3.1.2 大型激光光学系统 | 第31-34页 |
| 3.2 实际系统中偏振像差控制 | 第34-35页 |
| 3.3 建模分析所用工具 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 程序设计工作 | 第37-47页 |
| 4.1 偏振分析功能的完善 | 第37-41页 |
| 4.2 模型通用功能 | 第41-44页 |
| 4.3 元件库的建立 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 实际高NA光刻物镜的偏振分析 | 第47-61页 |
| 5.1 引言 | 第47页 |
| 5.2 分析时考虑的实际特性 | 第47-50页 |
| 5.2.1 低损耗193nm减反膜 | 第47-48页 |
| 5.2.2 材料的吸收作用 | 第48-49页 |
| 5.2.3 偏振照明 | 第49-50页 |
| 5.3 偏振分析结果 | 第50-56页 |
| 5.3.1 镀膜对传输性能的影响 | 第51-52页 |
| 5.3.2 三因素对传输性能的影响 | 第52-53页 |
| 5.3.3 光斑形状的变化 | 第53-55页 |
| 5.3.4 MTF及分辨率的变化 | 第55-56页 |
| 5.4 偏振补偿方案的设计 | 第56-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 6 课题总结与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 作者简历 | 第66页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第66页 |
