| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状综述 | 第13-21页 |
| 1.2.1 AlCrN基涂层 | 第13-15页 |
| 1.2.2 纳米复合结构和多层/梯度结构涂层 | 第15-17页 |
| 1.2.3 .涂层制备工艺 | 第17-21页 |
| 1.2.4 总结 | 第21页 |
| 1.3 本论文的研究目的和内容 | 第21-23页 |
| 第2章 实验方法 | 第23-29页 |
| 2.1 涂层制备材料 | 第23页 |
| 2.2 涂层制备系统 | 第23-24页 |
| 2.3 涂层制备流程 | 第24-25页 |
| 2.4 试验技术路线 | 第25-26页 |
| 2.5 涂层分析测试方法 | 第26-29页 |
| 2.5.1 涂层成分及微观形貌 | 第26页 |
| 2.5.2 涂层结构分析 | 第26-27页 |
| 2.5.3 涂层力学性能分析 | 第27页 |
| 2.5.4 涂层常温摩擦磨损性能 | 第27页 |
| 2.5.5 涂层高温摩擦磨损性能 | 第27-29页 |
| 第3章 放电电压对AlCrN涂层结构及性能的影响 | 第29-45页 |
| 3.1 前言 | 第29页 |
| 3.2 试验部分 | 第29-30页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第30-44页 |
| 3.3.1 AlCrN涂层成分 | 第30页 |
| 3.3.2 AlCrN涂层表面形貌 | 第30-32页 |
| 3.3.3 AlCrN涂层结构 | 第32-35页 |
| 3.3.4 AlCrN涂层膜基结合性能 | 第35-36页 |
| 3.3.5 AlCrN涂层红硬性 | 第36-37页 |
| 3.3.6 AlCrN涂层常温摩擦磨损性能 | 第37-38页 |
| 3.3.7 AlCrN涂层高温摩擦磨损性能 | 第38-44页 |
| 3.4 小结 | 第44-45页 |
| 第4章 Ti靶功率对AlCrTiN涂层结构及性能的影响 | 第45-59页 |
| 4.1 前言 | 第45页 |
| 4.2 试验部分 | 第45-46页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第46-57页 |
| 4.3.1 AlCrTiN涂层成分 | 第46页 |
| 4.3.2 AlCrTiN涂层表面形貌 | 第46-47页 |
| 4.3.3 AlCrTiN涂层结构 | 第47-48页 |
| 4.3.4 AlCrTiN涂层膜基结合性能 | 第48-49页 |
| 4.3.5 AlCrTiN涂层红硬性 | 第49-51页 |
| 4.3.6 AlCrTiN涂层常温摩擦学性能 | 第51-53页 |
| 4.3.7 AlCrTiN涂层高温摩擦学性能 | 第53-57页 |
| 4.4 小结 | 第57-59页 |
| 第5章 涂层切削性能研究 | 第59-63页 |
| 5.1 前言 | 第59页 |
| 5.2 试验部分 | 第59页 |
| 5.3 AlCrTiN涂层切削性能分析 | 第59-61页 |
| 5.4 小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第72页 |