| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第7-15页 |
| 1.1.1 纳米薄膜制备方法 | 第9-14页 |
| 1.1.2 成膜参数 | 第14-15页 |
| 1.2 纳米材料的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 本课题研究内容 | 第16-18页 |
| 2 实验方法与性能表征 | 第18-32页 |
| 2.1 实验设备 | 第18-19页 |
| 2.2 实验前基材处理 | 第19页 |
| 2.3 Cu靶金属的选取 | 第19-21页 |
| 2.4 镀层制备 | 第21页 |
| 2.5 Ti-Cu-N纳米复合薄膜的性能表征 | 第21-32页 |
| 2.5.1 薄膜表面形貌分析 | 第21-23页 |
| 2.5.2 电子探针对成分测试 | 第23-24页 |
| 2.5.3 XRD对薄膜的结构分析 | 第24-25页 |
| 2.5.4 腐蚀性能测试 | 第25-30页 |
| 2.5.5 薄膜的抗菌性能研究 | 第30-32页 |
| 3 实验结果与讨论 | 第32-42页 |
| 3.1 N_2流量对薄膜的影响 | 第32-34页 |
| 3.1.1 不同N_2流量下Ti-Cu-N纳米复合薄膜的XRD | 第32页 |
| 3.1.2 薄膜表面形貌 | 第32-34页 |
| 3.2 电流对薄膜的影响 | 第34-42页 |
| 3.2.1 薄膜成分 | 第34-35页 |
| 3.2.2 XRD结构分析 | 第35-36页 |
| 3.2.3 表面形貌 | 第36-37页 |
| 3.2.4 腐蚀性能检测 | 第37-38页 |
| 3.2.5 腐蚀形貌 | 第38-39页 |
| 3.2.6 抗菌测试结果 | 第39-42页 |
| 4 结论 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-46页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47页 |