| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 选题目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 固体材料中的质量输运过程 | 第12-15页 |
| 1.3 薄膜互联导线失效机理常用研究方法 | 第15-16页 |
| 1.4 本文的主要研究工作 | 第16-19页 |
| 第2章 相场法原理及模型的建立 | 第19-36页 |
| 2.1 尖锐界面模型的基本理论 | 第19-22页 |
| 2.2 相场法(扩散界面)模型 | 第22-26页 |
| 2.3 相场模型数值计算方法 | 第26-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 损伤缺陷形貌演化的相场法模拟 | 第36-50页 |
| 3.1 表面能作用下的椭圆形孔洞形貌演化规律 | 第36-38页 |
| 3.2 电场作用下的圆形孔洞形貌演化规律 | 第38-45页 |
| 3.3 应力场作用下的圆形孔洞形貌演化规律 | 第45-48页 |
| 3.4 表面能、电场和应力场综合作用下的初始缺陷形貌演化规律 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 各向异性扩散特征对损伤缺陷形貌演化的影响 | 第50-58页 |
| 4.1 各向异性扩散特征下的相场控制方程 | 第50-51页 |
| 4.2 各向异性扩散特征对损伤缺陷形貌演化的影响规律 | 第51-55页 |
| 4.3 各向异性扩散特征下应力场影响规律 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 各向异性扩散特征下裂隙形貌演化规律 | 第58-72页 |
| 5.1 电场作用下裂隙形貌演化规律 | 第58-60页 |
| 5.2 应力场作用下裂隙形貌演化规律 | 第60-64页 |
| 5.3 边界条件对比模拟 | 第64-66页 |
| 5.4 垂直裂隙形貌演化规律 | 第66-71页 |
| 5.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 全文总结 | 第72-74页 |
| 6.1 主要结论 | 第72-73页 |
| 6.2 研究展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 附录 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第81-84页 |
| 上海交通大学硕士学位论文答辩决议书 | 第84页 |