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薄膜导线中损伤缺陷的形貌演化及愈合机理的相场法研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第11-19页
    1.1 选题目的和意义第11-12页
    1.2 固体材料中的质量输运过程第12-15页
    1.3 薄膜互联导线失效机理常用研究方法第15-16页
    1.4 本文的主要研究工作第16-19页
第2章 相场法原理及模型的建立第19-36页
    2.1 尖锐界面模型的基本理论第19-22页
    2.2 相场法(扩散界面)模型第22-26页
    2.3 相场模型数值计算方法第26-35页
    2.4 本章小结第35-36页
第3章 损伤缺陷形貌演化的相场法模拟第36-50页
    3.1 表面能作用下的椭圆形孔洞形貌演化规律第36-38页
    3.2 电场作用下的圆形孔洞形貌演化规律第38-45页
    3.3 应力场作用下的圆形孔洞形貌演化规律第45-48页
    3.4 表面能、电场和应力场综合作用下的初始缺陷形貌演化规律第48-49页
    3.5 本章小结第49-50页
第4章 各向异性扩散特征对损伤缺陷形貌演化的影响第50-58页
    4.1 各向异性扩散特征下的相场控制方程第50-51页
    4.2 各向异性扩散特征对损伤缺陷形貌演化的影响规律第51-55页
    4.3 各向异性扩散特征下应力场影响规律第55-57页
    4.4 本章小结第57-58页
第5章 各向异性扩散特征下裂隙形貌演化规律第58-72页
    5.1 电场作用下裂隙形貌演化规律第58-60页
    5.2 应力场作用下裂隙形貌演化规律第60-64页
    5.3 边界条件对比模拟第64-66页
    5.4 垂直裂隙形貌演化规律第66-71页
    5.5 本章小结第71-72页
第6章 全文总结第72-74页
    6.1 主要结论第72-73页
    6.2 研究展望第73-74页
参考文献第74-79页
附录第79-80页
致谢第80-81页
攻读学位期间发表的学术论文第81-84页
上海交通大学硕士学位论文答辩决议书第84页

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