石英玻璃低温连接技术与性能表征
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 课题背景和研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 键合技术的发展以及现状 | 第10-11页 |
| 1.3 低温键合技术的重要性 | 第11-12页 |
| 1.4 低温键合的主要方法 | 第12-21页 |
| 1.4.1 阳极键合技术 | 第12-14页 |
| 1.4.2 中介层键合技术 | 第14-17页 |
| 1.4.3 低温直接键合技术 | 第17-21页 |
| 1.5 低温键合技术所遇到的技术难题 | 第21-22页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 石英玻璃低温直接键合机理 | 第24-29页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 自发键合理论基础 | 第24-27页 |
| 2.2.1 自发键合力的来源 | 第24-26页 |
| 2.2.2 自发键合模型 | 第26-27页 |
| 2.3 石英亲水性表面最终键合过程 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 低温中介层法连接石英 | 第29-34页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 实验设备和原材料 | 第29-30页 |
| 3.2.1 实验设备 | 第29-30页 |
| 3.2.2 实验材料 | 第30页 |
| 3.3 键合流程 | 第30-32页 |
| 3.3.1 铋酸盐玻璃粉末的制作 | 第30-31页 |
| 3.3.2 清洗石英片 | 第31页 |
| 3.3.3 涂敷玻璃层 | 第31页 |
| 3.3.4 加热键合 | 第31-32页 |
| 3.4 键合结果与讨论 | 第32-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 石英表面活化键合技术的工艺研究 | 第34-49页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 石英疏水性表面键合研究 | 第34-36页 |
| 4.2.1 试验方案设计 | 第34-35页 |
| 4.2.2 方案结果与讨论 | 第35-36页 |
| 4.3 石英亲水性表面键合研究 | 第36-41页 |
| 4.3.1 主要研究内容 | 第36-37页 |
| 4.3.2 实验过程设计 | 第37-41页 |
| 4.4 石英键合效果的初步判定 | 第41-45页 |
| 4.4.1 实验过程 | 第42-43页 |
| 4.4.2 实验结果与讨论 | 第43-45页 |
| 4.5 亲水性和疏水性键合效果对比实验 | 第45-48页 |
| 4.5.1 实验过程 | 第45-46页 |
| 4.5.2 实验结果讨论 | 第46-47页 |
| 4.5.3 亲水性键合优点 | 第47-48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 键合结果检测和表征 | 第49-61页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 石英试样透光率检测 | 第49-52页 |
| 5.3 亲水性清洗和活化工艺探索结果 | 第52-54页 |
| 5.4 石英键合质量表征 | 第54-56页 |
| 5.5 空气气氛下键合强度与温度的关系 | 第56页 |
| 5.6 真空条件下键合强度与温度的关系 | 第56-58页 |
| 5.7 键合强度与退火时间的关系 | 第58-59页 |
| 5.8 高温退火条件下试样键合强度 | 第59-60页 |
| 5.9 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
