| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.2 太赫兹辐射探测技术的背景及发展 | 第11-13页 |
| 1.3 选题意义及主要工作 | 第13-15页 |
| 1.3.1 选题意义 | 第13-14页 |
| 1.3.2 主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 THz 波段微测辐射热计的性能分析 | 第15-29页 |
| 2.1 微测辐射热计的工作原理 | 第15-16页 |
| 2.2 微测辐射热计的性能分析 | 第16-22页 |
| 2.2.1 热学性能 | 第16-21页 |
| 2.2.2 力学性能 | 第21-22页 |
| 2.2.3 光学性能 | 第22页 |
| 2.3 微测辐射热计的结构特征 | 第22-23页 |
| 2.4 THz 波段微测辐射热计 | 第23-28页 |
| 2.4.1 如何实现微测辐射热计在 THz 波段的探测 | 第23-26页 |
| 2.4.2 噪声等效功率 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 THz 微测辐射热计的结构设计和热学、力学仿真与分析 | 第29-41页 |
| 3.1 IntelliSuite 软件简介 | 第29-30页 |
| 3.2 THz 波段微测辐射热计模型设计 | 第30-31页 |
| 3.3 THz 波段微测辐射热计版图设计 | 第31-32页 |
| 3.4 THz 波段微测辐射热计热学仿真与分析 | 第32-37页 |
| 3.5 THz 波段微测辐射热计力学仿真与分析 | 第37-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 THz 微测辐射热计的结构制备 | 第41-50页 |
| 4.1 制备工艺流程 | 第41-43页 |
| 4.1.1 等离子体增强化学气相沉积（PECVD） | 第41-42页 |
| 4.1.2 光刻 | 第42页 |
| 4.1.3 刻蚀 | 第42页 |
| 4.1.4 溅射 | 第42-43页 |
| 4.1.5 清洗 | 第43页 |
| 4.2 THz 微测辐射热计的结构制备与检测 | 第43-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 THz 吸收层的吸收率探索 | 第50-58页 |
| 5.1 薄金属层的辐射吸收机理 | 第50-52页 |
| 5.2 NiCr 薄膜的 THz 吸收率测试 | 第52-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 总结 | 第58-59页 |
| 6.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录 | 第65-66页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第66-67页 |
