| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 电容式 RF-MEMS 开关种类 | 第10-13页 |
| 1.3 电容式 RF-MEMS 开关国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 电容式 RF MEMS 开关原理与工艺 | 第18-23页 |
| 2.1 电容式 RF-MEMS 开关原理 | 第18-19页 |
| 2.2 电容式 RF-MEMS 开关主要性能参数 | 第19-20页 |
| 2.3 电容式 RF-MEMS 开关制备工艺流程 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 固定梁 RF MEMS 开关设计 | 第23-36页 |
| 3.1 固定梁 RF-MEMS 开关建模 | 第23页 |
| 3.2 主要工作原理 | 第23-25页 |
| 3.3 结构性能参数仿真 | 第25-31页 |
| 3.3.1 开关结构参数对驱动电压的影响 | 第25-29页 |
| 3.3.2 梁材料及残余应力对驱动电压的影响 | 第29-30页 |
| 3.3.3 极板间距离与介质层厚度对电容比的影响 | 第30-31页 |
| 3.4 开启时间的研究 | 第31-35页 |
| 3.4.1 可动薄膜动力学方程的建立 | 第31-33页 |
| 3.4.2 开启时间仿真 | 第33-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 电容式 RF-MEMS 开关失效模拟 | 第36-50页 |
| 4.1 冲击速度模型建立 | 第36-38页 |
| 4.2 介质薄膜内电场模型建立 | 第38-39页 |
| 4.3 模型仿真 | 第39-43页 |
| 4.3.1 粘滞系数及偏置电压对冲击速度的影响 | 第39-41页 |
| 4.3.2 偏置电压对介质薄膜内建电场的影响 | 第41-43页 |
| 4.4 电介质充电对开关寿命的影响 | 第43-49页 |
| 4.4.1 主要原理及寿命预测模型建立 | 第44-46页 |
| 4.4.2 寿命预测模型仿真 | 第46-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |