| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 扭摆式加速度计研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 扭摆式加速度计简介 | 第12页 |
| 1.2.2 国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3 本文主要工作内容 | 第17-19页 |
| 第二章 蝶翼式加速度计结构设计与分析 | 第19-47页 |
| 2.1 蝶翼式加速度计总体结构及工作原理 | 第19-26页 |
| 2.1.1 蝶翼式加速度计总体结构 | 第19-20页 |
| 2.1.2 蝶翼式加速度计工作原理 | 第20-21页 |
| 2.1.3 蝶翼式加速度计与传统扭摆式加速度敏感结构对比 | 第21-26页 |
| 2.2 蝶翼式加速度计静态特性与理论分析 | 第26-34页 |
| 2.2.1 蝶翼式加速度计六边形支撑梁扭转刚度分析 | 第26-29页 |
| 2.2.2 蝶翼式加速度计理论电容灵敏度分析 | 第29-33页 |
| 2.2.3 蝶翼式加速度计结构尺寸确定 | 第33-34页 |
| 2.3 蝶翼式加速度计结构仿真分析 | 第34-46页 |
| 2.3.1 蝶翼式加速度计电容灵敏度仿真分析 | 第35-38页 |
| 2.3.2 蝶翼式加速度计量程及其非线性仿真分析 | 第38-39页 |
| 2.3.3 蝶翼式加速度计与传统扭摆式加速度计热应力仿真对比分析 | 第39-43页 |
| 2.3.4 蝶翼式加速度计交叉轴灵敏度仿真分析 | 第43-44页 |
| 2.3.5 加工误差对蝶翼式加速度计几个典型性能的影响 | 第44-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 蝶翼式加速度计加工过程 | 第47-54页 |
| 3.1 蝶翼式加速度计MEMS结构加工工艺 | 第47-50页 |
| 3.1.1 蝶翼式加速度计加工流程 | 第47页 |
| 3.1.2 蝶翼式加速度计关键加工工艺 | 第47-50页 |
| 3.2 蝶翼式加速度计芯片级电容检测 | 第50-51页 |
| 3.3 蝶翼式加速度计封装技术 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 蝶翼式加速度计测试电路与信号采集系统 | 第54-64页 |
| 4.1 蝶翼式加速度计等效电路模型 | 第54-55页 |
| 4.2 蝶翼式加速度计检测电路系统设计 | 第55-56页 |
| 4.3 蝶翼式加速度计信号采集系统设计 | 第56-62页 |
| 4.3.1 LabVIEW与加速度计测试 | 第56-57页 |
| 4.3.2 基于LabVIEW的蝶翼式加速度计数据采集系统 | 第57-59页 |
| 4.3.3 基于LabVIEW的蝶翼式加速度计数据处理系统 | 第59-61页 |
| 4.3.4 基于LabVIEW的蝶翼式加速度计数据回放系统 | 第61-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 蝶翼式加速度计的测试 | 第64-72页 |
| 5.1 蝶翼式加速度计测试仪器与设备 | 第64页 |
| 5.2 蝶翼式加速度计基本性能测试 | 第64-71页 |
| 5.2.1 标度因数测试 | 第65-67页 |
| 5.2.2 偏值测试 | 第67-68页 |
| 5.2.3 1g稳定性与启动时间测试 | 第68-69页 |
| 5.2.4 全量程及其非线性测试 | 第69-70页 |
| 5.2.5 频带宽测试 | 第70-71页 |
| 5.2.6 蝶翼式加速度计测试结果汇总 | 第71页 |
| 5.3 本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 全文总结 | 第72-73页 |
| 6.2 工作展望 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第80页 |
| （一）学术论文 | 第80页 |
| （二）参与的科研项目 | 第80页 |
