| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 MOS气敏传感器概述 | 第9-12页 |
| 1.2 MOS气敏机理研究 | 第12-14页 |
| 1.3 ZnO的本征缺陷与掺杂 | 第14-17页 |
| 1.4 本课题的目的、意义及主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 实验过程 | 第19-29页 |
| 2.1 实验技术路线及方案 | 第19-20页 |
| 2.2 实验设备及试剂 | 第20页 |
| 2.3 ZnO气敏材料的制备及表征 | 第20-22页 |
| 2.4 ZnO气敏性能及温阻特性测试 | 第22-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 材料表征结果及讨论 | 第29-41页 |
| 3.1 ZnO气敏材料的结构和形貌表征 | 第29-34页 |
| 3.2 ZnO气敏材料的XPS分析 | 第34-38页 |
| 3.3 Li掺杂ZnO的掺杂特性 | 第38-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 ZnO气敏特性和温阻特性 | 第41-52页 |
| 4.1 均相沉淀法Li掺杂ZnO的温阻特性及气敏性能 | 第41-45页 |
| 4.2 水热法Li掺杂ZnO的温阻特性及气敏性能 | 第45-48页 |
| 4.3 气敏机理解释 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 全文总结与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 全文总结 | 第52-53页 |
| 5.2 展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-62页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |