| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 符号说明 | 第8-9页 |
| 1 前言 | 第9-24页 |
| 1.1 微纳光子结构 | 第9-12页 |
| 1.2 光子结构特性 | 第12-14页 |
| 1.3 微纳光子结构的制备 | 第14-19页 |
| 1.3.1 机械制备法 | 第15页 |
| 1.3.2 电化学腐蚀法 | 第15-16页 |
| 1.3.3 电子束直写法 | 第16-17页 |
| 1.3.4 倾斜角溅射沉积法 | 第17-18页 |
| 1.3.5 激光全息光刻技术 | 第18-19页 |
| 1.4 微纳光子结构的应用 | 第19-21页 |
| 1.5 感光材料 | 第21-23页 |
| 1.5.1 正性感光胶 | 第21-22页 |
| 1.5.2 负性光刻胶 | 第22页 |
| 1.5.3 其他感光胶 | 第22-23页 |
| 1.6 论文的研究意义和主要内容 | 第23-24页 |
| 2 激光干涉理论分析 | 第24-31页 |
| 2.1 光波的复数表示 | 第24-26页 |
| 2.2 多束光干涉的光场分布 | 第26-27页 |
| 2.3 模拟参量说明 | 第27-29页 |
| 2.4 小结 | 第29-31页 |
| 3 CHP-C感光材料记录特性研究 | 第31-42页 |
| 3.1 CHP-C的吸收特性 | 第31-32页 |
| 3.2 实验研究方案 | 第32-35页 |
| 3.2.1 光栅结构制备光路 | 第32-33页 |
| 3.2.2 样品处理过程 | 第33页 |
| 3.2.3 实验结果与表征 | 第33-35页 |
| 3.3 CHP-C感光灵敏度研究 | 第35-38页 |
| 3.4 CHP-C对碱性物质的灵敏度 | 第38-41页 |
| 3.4.1 显影液浓度对结构的影响 | 第38-40页 |
| 3.4.2 显影时间对结构的影响 | 第40-41页 |
| 3.5 小结 | 第41-42页 |
| 4 基于非对称五束光制备二维新型光子晶体 | 第42-57页 |
| 4.1 非对称光束干涉理论 | 第42-43页 |
| 4.2 实验内容 | 第43-46页 |
| 4.2.1 实验流程 | 第44-45页 |
| 4.2.2 样品表征 | 第45-46页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第46-55页 |
| 4.3.1 偏振组合为（0°，0°，0°，0°，0°） | 第46-49页 |
| 4.3.2 偏振组合为（90°，90°，90°，90°，90°） | 第49-51页 |
| 4.3.3 偏振组合为（0°，0°，0°，0°，90°） | 第51-53页 |
| 4.3.4 偏振组合为（90°，90°，90°，90°，0°） | 第53-55页 |
| 4.4 小结 | 第55-57页 |
| 结论与创新 | 第57页 |
| 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 附录 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读学位期间发表学术论文情况 | 第64-65页 |
