| 摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 前言 | 第15-35页 |
| 第一节 微机械简述 | 第15-27页 |
| 1.1.1 微机械的概念 | 第15-16页 |
| 1.1.2 微机械的加工方法 | 第16-22页 |
| 1.1.3 微机械的驱动方式 | 第22-27页 |
| 第二节 飞秒激光微纳加工技术简介 | 第27-33页 |
| 1.2.1 光化学基本原理 | 第27-30页 |
| 1.2.2 飞秒激光微纳加工及其特点 | 第30-33页 |
| 第三节 本工作设计思路 | 第33-35页 |
| 第二章 磁流体光刻胶的制备与磁遥控微机械的激光加工 | 第35-59页 |
| 第一节 磁流体光刻胶的制备 | 第35-47页 |
| 2.1.1 Fe_3O_4纳米粒子的合成及表面改性 | 第35-38页 |
| 2.1.2 Fe_3O_4纳米粒子的表征与讨论 | 第38-44页 |
| 2.1.3 磁流体光刻胶的配制 | 第44-47页 |
| 第二节 微弹簧的激光加工与磁遥控驱动 | 第47-50页 |
| 2.2.1 实验装置 | 第47-48页 |
| 2.2.2 微弹簧的飞秒激光加工 | 第48-49页 |
| 2.2.3 微弹簧的磁遥控驱动 | 第49-50页 |
| 第三节 微流控芯片中微搅拌器的激光加工与磁遥控驱动 | 第50-58页 |
| 2.3.1 激光加工精度的优化 | 第51-53页 |
| 2.3.2 微流控芯片中微混合器的飞秒激光加工 | 第53-54页 |
| 2.3.3 微流控芯片中微混合器的磁遥控驱动 | 第54-58页 |
| 第四节 本章小结 | 第58-59页 |
| 第三章 聚合物微结构的溶剂响应行为及微驱动 | 第59-77页 |
| 第一节 引言 | 第59-70页 |
| 3.1.1 刺激响应聚合物材料简介 | 第59-63页 |
| 3.1.2 溶剂响应聚合物的溶胀与收缩 | 第63-70页 |
| 第二节 丙烯酸酯类光敏树脂的溶剂响应行为 | 第70-72页 |
| 3.2.1 模型的设计与激光加工 | 第70-71页 |
| 3.2.2 PBMA微米线溶剂响应特性 | 第71-72页 |
| 第三节 溶剂响应微器件的制备与可控驱动 | 第72-76页 |
| 3.3.1 微滑块器件的加工与驱动 | 第72-74页 |
| 3.3.2 激光加工对器件溶剂响应特性的调控 | 第74-76页 |
| 第四节 本章小结 | 第76-77页 |
| 第四章 溶剂响应微机械手的制备与操控 | 第77-89页 |
| 第一节 微机械手双层结构模型的设计及加工 | 第77-82页 |
| 4.1.1 微机械手模型的设计 | 第77-80页 |
| 4.1.2 微机械手的激光加工 | 第80-82页 |
| 第二节 微机械手的基本功能与操控 | 第82-88页 |
| 4.2.1 微机械手的溶剂响应驱动 | 第82-84页 |
| 4.2.2 微机械手的大范围三维精确定位 | 第84-86页 |
| 4.2.3 微机械手抓取、搬运与释放微球 | 第86-88页 |
| 第三节 本章小结 | 第88-89页 |
| 第五章 结论 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-105页 |
| 攻读博士学位期间取得的科研成果 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107页 |
