罩式退火炉温度控制系统设计与实现
| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.1.1 选题背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 研究的理论及实际意义 | 第10-11页 |
| 1.2 全氢罩式炉研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 全氢罩式炉发展现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 全氢罩式炉控制系统研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第14-15页 |
| 第2章 罩式退火炉工艺 | 第15-21页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 罩式炉退火生产工艺 | 第15-17页 |
| 2.3 罩式退火炉设备组成 | 第17-20页 |
| 2.3.1 强对流炉台 | 第17-18页 |
| 2.3.2 加热罩 | 第18-19页 |
| 2.3.3 内罩 | 第19页 |
| 2.3.4 冷却罩 | 第19页 |
| 2.3.5 炉台阀站 | 第19-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 退火炉控制系统设计 | 第21-29页 |
| 3.1 引言 | 第21页 |
| 3.2 控制系统总体设计 | 第21-23页 |
| 3.3 控制系统硬件分析与设计 | 第23-25页 |
| 3.3.1 温度控制系统硬件体系结构 | 第23页 |
| 3.3.2 脉冲燃烧控制方式 | 第23-25页 |
| 3.3.3 程控脉冲分频器 | 第25页 |
| 3.4 温度控制系统软件设计 | 第25-27页 |
| 3.5 本章小结 | 第27-29页 |
| 第4章 罩式退火炉温度控制算法研究 | 第29-51页 |
| 4.1 引言 | 第29页 |
| 4.2 PID控制原理 | 第29-31页 |
| 4.3 模糊控制简介 | 第31-34页 |
| 4.3.1 模糊控制的发展 | 第31页 |
| 4.3.2 模糊控制系统的基本结构 | 第31-33页 |
| 4.3.3 模糊控制系统的特点 | 第33页 |
| 4.3.4 模糊控制器设计 | 第33-34页 |
| 4.3.5 模糊控制算法的实现 | 第34页 |
| 4.4 控制算法设计与仿真研究 | 第34-50页 |
| 4.4.1 罩式退火炉温度仿真模型 | 第34-36页 |
| 4.4.2 退火炉温度模糊控制回路设计 | 第36-43页 |
| 4.4.3 罩式退火炉温度模糊PID控制方法研究 | 第43-47页 |
| 4.4.4 仿真结果对比分析 | 第47-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 控制系统的实现 | 第51-59页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 炉台控制功能实现 | 第51-55页 |
| 5.2.1 压力监测 | 第51-52页 |
| 5.2.2 温度监测 | 第52页 |
| 5.2.3 流量监测 | 第52-53页 |
| 5.2.4 温度控制 | 第53-54页 |
| 5.2.5 压力控制 | 第54-55页 |
| 5.3 监控计算机控制功能实现 | 第55-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 结束语 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59页 |
| 6.2 展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
