| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·纳米复合膜 | 第14-17页 |
| ·纳米复合膜的制备方法 | 第14-15页 |
| ·纳米复合膜的分类 | 第15-16页 |
| ·纳米复合膜的致硬机理研究 | 第16-17页 |
| ·纳米多层膜 | 第17-22页 |
| ·纳米多层膜的制备方法 | 第17-18页 |
| ·纳米多层膜的分类 | 第18-20页 |
| ·纳米多层膜的致硬机理研究 | 第20-22页 |
| ·摩擦磨损的基础理论 | 第22-24页 |
| ·摩擦 | 第22-23页 |
| ·磨损 | 第23-24页 |
| ·选题意义和研究内容 | 第24-26页 |
| ·选题意义 | 第24-25页 |
| ·研究内容 | 第25-26页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第26-32页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·薄膜的制备原理和实验设备 | 第26-28页 |
| ·薄膜的制备原理 | 第26-28页 |
| ·实验设备 | 第28页 |
| ·薄膜检测设备和检测方法 | 第28-32页 |
| ·X 射线衍射仪(XRD) | 第28-29页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第29页 |
| ·能量色散谱仪(EDS) | 第29-30页 |
| ·MM-6 显微硬度测试仪 | 第30-31页 |
| ·UMT-2 型摩擦磨损测试仪 | 第31页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第31-32页 |
| 第3章 Cr-Al-N 复合膜的微结构与力学性能研究 | 第32-42页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·实验过程 | 第33-34页 |
| ·实验结果与讨论 | 第34-41页 |
| ·Cr-Al-N 复合膜中的Al 含量 | 第34-35页 |
| ·Al 含量对Cr-Al-N 复合膜微结构的影响 | 第35-37页 |
| ·Al 含量对Cr-Al-N 复合膜力学性能的影响 | 第37页 |
| ·Al 含量对Cr-Al-N 复合膜摩擦磨损性能的影响 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 Cr-Mo-N 复合膜的微结构与力学性能研究 | 第42-49页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·实验过程 | 第42-43页 |
| ·实验结果与讨论 | 第43-48页 |
| ·Cr-Mo-N 复合膜中的Mo 含量 | 第43-44页 |
| ·Mo 含量对Cr-Mo-N 复合膜微结构的影响 | 第44页 |
| ·Mo 含量对Cr-Mo-N 复合膜力学性能的影响 | 第44-45页 |
| ·Mo 含量对Cr-Mo-N 复合膜摩擦磨损性能的影响 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 CrN/Mo_2N 纳米多层膜微结构与力学性能研究 | 第49-58页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·实验方法 | 第49-51页 |
| ·CrN 和Mo_2N 单层膜沉积速率的确定 | 第49-50页 |
| ·CrN/Mo_2N 多层膜的制备 | 第50-51页 |
| ·实验结果与分析 | 第51-57页 |
| ·CrN、Mo_2N 单层膜 | 第51-52页 |
| ·调制周期和调制比CrN/Mo_2N 多层膜的微结构的影响 | 第52-53页 |
| ·调制周期对CrN/Mo_2N 多层膜的力学性能的影响 | 第53页 |
| ·CrN/Mo_2N 多层膜的硬度强化机制 | 第53-55页 |
| ·CrN/Mo_2N 多层膜的摩擦磨损性能 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 大摘要 | 第67-71页 |
