| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 生物医用材料 | 第11-12页 |
| 1.2 生物医用金属材料 | 第12-13页 |
| 1.2.1 医用不锈钢 | 第12页 |
| 1.2.2 钴基合金 | 第12-13页 |
| 1.2.3 医用钽 | 第13页 |
| 1.2.4 钛及其合金 | 第13页 |
| 1.3 生物医用钛及其合金的性能 | 第13-14页 |
| 1.3.1 钛及其合金的力学性能 | 第13页 |
| 1.3.2 钛及其合金的生物医学应用 | 第13-14页 |
| 1.4 生物医用钛合金表面改性 | 第14-19页 |
| 1.4.1 TiN薄膜的性质 | 第15页 |
| 1.4.2 TiN薄膜的结构 | 第15-16页 |
| 1.4.3 TiN薄膜的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.4.4 TiN薄膜中存在的问题 | 第19页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 实验原理及方法 | 第21-27页 |
| 2.1 TiN薄膜的制备 | 第21-23页 |
| 2.1.1 反应磁控溅射的原理 | 第21-22页 |
| 2.1.2 磁控溅射设备 | 第22-23页 |
| 2.1.3 基片预处理 | 第23页 |
| 2.2 薄膜的性能表征 | 第23-27页 |
| 2.2.1 薄膜微观形貌分析 | 第23页 |
| 2.2.2 薄膜晶体结构分析 | 第23页 |
| 2.2.3 薄膜厚度的测量 | 第23-24页 |
| 2.2.4 薄膜光学性能分析 | 第24页 |
| 2.2.5 薄膜力学性能分析 | 第24-27页 |
| 第3章 单层TiN薄膜的制备及其性能 | 第27-49页 |
| 3.1 前言 | 第27页 |
| 3.2 实验方法 | 第27页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第27-48页 |
| 3.3.1 溅射总压对TiN薄膜的影响 | 第27-30页 |
| 3.3.2 氮流量对TiN薄膜的影响 | 第30-33页 |
| 3.3.3 沉积时间(薄膜厚度)对TiN薄膜的影响 | 第33-38页 |
| 3.3.4 基板温度对TiN薄膜的影响 | 第38-43页 |
| 3.3.5 靶基距对TiN薄膜的影响 | 第43-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 TiN成分梯度薄膜和TiN/Ti纳米多层膜的制备及其性能 | 第49-65页 |
| 4.1 前言 | 第49页 |
| 4.2 实验方法 | 第49-50页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第50-64页 |
| 4.3.1 渐变时间(渐变厚度)对TiN成分梯度薄膜的影响 | 第50-55页 |
| 4.3.2 调制比对TiN/Ti纳米多层膜的影响 | 第55-59页 |
| 4.3.3 改变调制周期制备TiN/Ti纳米多层膜 | 第59-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 结论 | 第65-66页 |
| 5.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
