| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 Ka可重构天线的研究背景 | 第9页 |
| 1.2 研究意义 | 第9-11页 |
| 1.2.1 Ka 波段的主要特征 | 第9-10页 |
| 1.2.2 MEMS的优势 | 第10-11页 |
| 1.2.3 可重构天线的优势 | 第11页 |
| 1.3 国内外发展现状 | 第11-17页 |
| 1.3.1 国外发展现状 | 第11-14页 |
| 1.3.2 国内研究进展 | 第14-17页 |
| 1.4 论文的主要内容 | 第17-18页 |
| 1.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 RF MEMS开关的设计与仿真 | 第19-49页 |
| 2.1 RF MEMS的力学模型 | 第19-32页 |
| 2.1.1 不同载荷加载时，MEMS梁的弹性系数计算 | 第20-27页 |
| 2.1.2 梁在静电激励下的形变分析 | 第27-30页 |
| 2.1.3 MEMS开关的动态力学模型 | 第30-31页 |
| 2.1.4 MEMS开关力学设计的优化 | 第31-32页 |
| 2.2 RF MEMS的电磁模型 | 第32-43页 |
| 2.2.1 基于微带法和S参数法的up态等效电容提取 | 第33-37页 |
| 2.2.2 MEMS开关down态电容与电容比的计算 | 第37-38页 |
| 2.2.3 MEMS开关电流分布以及电感参数的提取 | 第38-40页 |
| 2.2.4 MEMS开关串联电阻及隔离度计算分析 | 第40-41页 |
| 2.2.5 MEMS开关等效电路的分析 | 第41-43页 |
| 2.3 工作在Ka波段的RF MEMS开关的设计 | 第43-48页 |
| 2.3.1 增大极板相对面积对谐振频率的影响 | 第43-44页 |
| 2.3.2 介质层间距和介电常数对谐振频率的影响 | 第44-45页 |
| 2.3.3 梁结构本身电感对谐振频率的影响 | 第45页 |
| 2.3.4 微带扇形接地端对谐振频率的影响 | 第45-46页 |
| 2.3.5 开关设计实例 | 第46-48页 |
| 2.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 基于MEMS的方向图可重构天线的设计 | 第49-68页 |
| 3.1 主副辐射单元的设计 | 第49-55页 |
| 3.1.1 贴片电流分布分析 | 第49页 |
| 3.1.2 主贴片设计 | 第49-50页 |
| 3.1.3 基于相位叠加的主从单元设计 | 第50-55页 |
| 3.2 寄生贴片的设计 | 第55-58页 |
| 3.3 天线与开关的融合设计与仿真 | 第58-67页 |
| 3.3.1 无寄生贴片天线与开关一体化结构 | 第58-62页 |
| 3.3.2 寄生贴片天线与开关一体化结构 | 第62-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 加工与测试 | 第68-77页 |
| 4.1 加工方案 | 第68-73页 |
| 4.1.1 多次涂胶干法刻蚀法 | 第68-70页 |
| 4.1.2 光刻掩膜版的设计 | 第70-73页 |
| 4.2 测试方案 | 第73-75页 |
| 4.2.1 测试方案设计 | 第73页 |
| 4.2.2 测试架的设计与仿真 | 第73-75页 |
| 4.3 开关的失效 | 第75-76页 |
| 4.3.1 粘附失效 | 第76页 |
| 4.3.2 残余应力产生的失效 | 第76页 |
| 4.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 总结和展望 | 第77-79页 |
| 5.1 本文工作总结 | 第77页 |
| 5.2 下一步工作展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第84页 |
