| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 符号对照表 | 第9-10页 |
| 缩略语对照表 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| 1.1 关键面积的研究背景 | 第13-15页 |
| 1.2 关键面积的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 本论文的内容及安排 | 第17-19页 |
| 第二章 二值形态学理论 | 第19-27页 |
| 2.1 结构元素 | 第19-20页 |
| 2.2 膨胀和腐蚀 | 第20-22页 |
| 2.2.1 集合的基本操作 | 第20页 |
| 2.2.2 膨胀运算 | 第20-21页 |
| 2.2.3 腐蚀运算 | 第21页 |
| 2.2.4 膨胀和腐蚀的性质 | 第21-22页 |
| 2.3 开运算和闭运算 | 第22-24页 |
| 2.3.1 开运算 | 第22-23页 |
| 2.3.2 闭运算 | 第23页 |
| 2.3.3 开运算和闭运算的性质 | 第23-24页 |
| 2.4 快速膨胀运算 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 缺陷类型及特征研究 | 第27-35页 |
| 3.1 缺陷的类型 | 第27-29页 |
| 3.2 缺陷特征 | 第29-32页 |
| 3.2.1 缺陷空间分布特征 | 第29-30页 |
| 3.2.2 缺陷粒径分布特征 | 第30-32页 |
| 3.2.3 缺陷轮廓特征 | 第32页 |
| 3.3 缺陷的特征描述 | 第32-33页 |
| 3.4 小结 | 第33-35页 |
| 第四章 已有的短路关键面积模型及改进 | 第35-43页 |
| 4.1 关键面积定义及类型 | 第35-36页 |
| 4.1.1 关键面积定义 | 第35-36页 |
| 4.1.2 关键面积类型 | 第36页 |
| 4.2 已有的短路关键计算模型 | 第36-40页 |
| 4.2.1 基于圆形缺陷模型的短路关键面积计算模型 | 第37-38页 |
| 4.2.2 基于矩形缺陷模型的短路关键面积计算模型 | 第38-39页 |
| 4.2.3 基于数学形态学的短路关键面积计算模型 | 第39-40页 |
| 4.3 基于缺陷特征的短路关键面积模型 | 第40-41页 |
| 4.4 小结 | 第41-43页 |
| 第五章 基于缺陷特征的短路关键面积提取算法及其应用 | 第43-51页 |
| 5.1 基于新模型的短路关键面积提取算法 | 第43-45页 |
| 5.1.1 单一缺陷的短路关键面积提取算法 | 第43-44页 |
| 5.1.2 算法的时间复杂度分析 | 第44-45页 |
| 5.1.3 算法的适用性分析 | 第45页 |
| 5.2 算法应用 | 第45-50页 |
| 5.2.1 算法初步验证 | 第45-47页 |
| 5.2.2 大型版图验证 | 第47-48页 |
| 5.2.3 算法应用于短路优化 | 第48-49页 |
| 5.2.4 算法应用于开路优化 | 第49-50页 |
| 5.3 小结 | 第50-51页 |
| 第六章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 6.1 总结 | 第51-52页 |
| 6.2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 作者简介 | 第61-62页 |
| 1. 基本情况 | 第61页 |
| 2. 教育背景 | 第61页 |
| 3. 在学期间的研究成果 | 第61-62页 |
