| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第11页 |
| 1.2 超光滑表面加工技术 | 第11-17页 |
| 1.2.1 接触式抛光 | 第11-14页 |
| 1.2.2 非接触式抛光 | 第14-17页 |
| 1.3 本论文课题的来源与主要研究工作 | 第17-19页 |
| 第2章 液动压悬浮抛光的基本原理 | 第19-33页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 固液两相流原理 | 第19-23页 |
| 2.2.1 流体动力学方程 | 第19-21页 |
| 2.2.2 两相流模型选择 | 第21页 |
| 2.2.3 湍流模型 | 第21-22页 |
| 2.2.4 SIMPLE算法 | 第22-23页 |
| 2.3 液动压悬浮抛光方法的提出 | 第23-29页 |
| 2.3.1 流体动力润滑理论 | 第23-26页 |
| 2.3.2 液动压悬浮抛光结构模型 | 第26-27页 |
| 2.3.3 抛光工具盘结构参数 | 第27-29页 |
| 2.4 压力和材料去除率之间的关系 | 第29-31页 |
| 2.4.1 材料去除机理 | 第29-30页 |
| 2.4.2 压力和材料去除之间的关系 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 液动压悬浮抛光压力场的数值模拟 | 第33-53页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 液动压悬浮抛光工具盘的计算模型 | 第33-36页 |
| 3.2.1 抛光工具盘的几何模型 | 第33-34页 |
| 3.2.2 网格划分及边界条件 | 第34-36页 |
| 3.3 抛光工具盘结构参数对流体动压力的影响 | 第36-48页 |
| 3.3.1 正交实验试验表 | 第36-38页 |
| 3.3.2 实验结果与分析 | 第38-43页 |
| 3.3.3 多元非线性拟合 | 第43-45页 |
| 3.3.4 基于遗传算法的抛光工具盘结构优化 | 第45-48页 |
| 3.4 抛光工艺参数对流体动压力的影响 | 第48-52页 |
| 3.4.1 加工转速对流体动压力的影响 | 第48-50页 |
| 3.4.2 加工间隙对流体动压力的影响 | 第50-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 液动压悬浮抛光加工的试验研究 | 第53-71页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 液动压悬浮抛光装置 | 第53-57页 |
| 4.2.1 抛光装置工作原理 | 第53-55页 |
| 4.2.2 加工间隙调节装置 | 第55页 |
| 4.2.3 压力检测装置 | 第55-57页 |
| 4.3 液动压悬浮抛光流体压力采集实验 | 第57-62页 |
| 4.3.1 压力传感器安装布置 | 第57-58页 |
| 4.3.2 压力信号采集与处理 | 第58-60页 |
| 4.3.3 抛光工艺参数对压力的影响 | 第60-62页 |
| 4.4 液动压悬浮抛光试样的制备与表征 | 第62-69页 |
| 4.4.1 机械抛光试样制备 | 第62-63页 |
| 4.4.2 液动压悬浮抛光试样制备 | 第63-64页 |
| 4.4.3 机械抛光试样和液动压悬浮抛光试样的表征对比 | 第64-67页 |
| 4.4.4 抛光工艺参数对液动压悬浮抛光试样表面的影响 | 第67-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 总结 | 第71页 |
| 5.2 课题展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第79页 |