紫外激光抛光蓝宝石晶体过程研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 符号说明 | 第9-11页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| CONTENTS | 第14-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-35页 |
| ·研究背景及意义 | 第17-18页 |
| ·国内外相关研究现状 | 第18-33页 |
| ·激光器的发展与激光微细加工的应用 | 第19-21页 |
| ·激光加工中的光化学作用机理研究 | 第21-25页 |
| ·激光加工中的光化学作用的检测分析方法 | 第25-29页 |
| ·激光抛光机理的研究 | 第29-33页 |
| ·课题来源及本文主要研究内容 | 第33-35页 |
| ·课题来源 | 第33页 |
| ·主要研究内容 | 第33-35页 |
| 第二章 紫外激光刻蚀蓝宝石晶体的理论研究 | 第35-44页 |
| ·紫外激光刻蚀蓝宝石晶体的热作用 | 第35-38页 |
| ·紫外激光刻蚀蓝宝石晶体的熔化和气化 | 第35-37页 |
| ·紫外激光对蓝宝石晶体的热作用刻蚀 | 第37-38页 |
| ·紫外激光对蓝宝石晶体的光化学作用刻蚀 | 第38-39页 |
| ·紫外激光刻蚀蓝宝石晶体 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 紫外激光抛光蓝宝石晶体的实验研究方法 | 第44页 |
| ·实验材料 | 第44-56页 |
| ·实验设备装置 | 第46-50页 |
| ·激光器 | 第46-47页 |
| ·入射角度调整装置 | 第47-48页 |
| ·检测指标及检测仪器设备 | 第48-50页 |
| ·紫外激光刻蚀实验研究方法 | 第50-52页 |
| ·紫外激光刻蚀蓝宝石的实验过程 | 第50页 |
| ·刻蚀实验参数 | 第50-52页 |
| ·紫外激光抛光实验研究方法 | 第52-55页 |
| ·紫外激光抛光蓝宝石的实验过程 | 第52-53页 |
| ·紫外激光抛光蓝宝石的工艺参数 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 紫外激光刻蚀蓝宝石晶体的实验研究 | 第56-66页 |
| ·激光能量密度对刻蚀的影响 | 第56-62页 |
| ·激光能量密度对刻蚀深度的影响 | 第56-57页 |
| ·激光能量密度对刻蚀机理的影响 | 第57-61页 |
| ·激光能量密度对刻蚀凹坑形貌的影响 | 第61-62页 |
| ·激光脉冲数对刻蚀的影响 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 紫外激光抛光蓝宝石工艺参数的实验研究 | 第66-83页 |
| ·激光抛光蓝宝石晶体工艺参数优化实验方法的选择 | 第66-67页 |
| ·激光工艺参数对抛光的影响 | 第67-72页 |
| ·激光能量密度的影响 | 第67-68页 |
| ·激光重复频率的影响 | 第68-69页 |
| ·激光扫描速度的影响 | 第69-70页 |
| ·激光扫描方式的影响 | 第70-71页 |
| ·激光入射角度的影响 | 第71-72页 |
| ·激光抛光优化实验工艺参数的选择 | 第72-73页 |
| ·激光能量密度的选择 | 第72页 |
| ·激光重复频率的选择 | 第72页 |
| ·激光扫描速度的选择 | 第72-73页 |
| ·激光扫描方式的选择 | 第73页 |
| ·激光入射角度的选择 | 第73页 |
| ·紫外激光抛光蓝宝石晶体工艺参数优化实验 | 第73-79页 |
| ·实验方案设计 | 第73-75页 |
| ·实验结果与分析 | 第75-79页 |
| ·蓝宝石抛光微观表面形貌分析 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 结论和展望 | 第83-86页 |
| 参考文献 | 第86-92页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94页 |
