| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1.课题的来源及课题的背景意义 | 第13-17页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第13页 |
| 1.1.2.课题研究背景和意义 | 第13-17页 |
| 1.2.国内外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.1 国外转台研究的现状 | 第17-18页 |
| 1.2.2 国内转台研究的现状 | 第18-19页 |
| 1.3 气浮转台研究现阶段存在的问题 | 第19页 |
| 1.4 本课题研究的主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 气浮转台系统的设计 | 第21-36页 |
| 2.1 气浮转台总体设计方案的要求 | 第21页 |
| 2.2 转台整体结构和气路的设计 | 第21-23页 |
| 2.2.1 转台结构的设计 | 第21-23页 |
| 2.2.2 气浮转台气路的设计 | 第23页 |
| 2.3 转台支撑系统的设计 | 第23-27页 |
| 2.3.1 径向轴承结构参数的设计 | 第23-25页 |
| 2.3.2 止推轴承结构参数的设计 | 第25-27页 |
| 2.4 气浮转台控制系统方案的设计 | 第27-35页 |
| 2.4.1 UMAC运动控制器和工控机 | 第28-30页 |
| 2.4.2 转台驱动方式 | 第30-32页 |
| 2.4.3 TRUST线性驱动器 | 第32-33页 |
| 2.4.4 转台反馈系统的设计 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小节 | 第35-36页 |
| 第三章 气浮转台静态特性的分析 | 第36-49页 |
| 3.1 气浮转台轴向雷诺方程的推导 | 第36-39页 |
| 3.2 气浮轴承轴向方向的有限元仿真 | 第39-45页 |
| 3.2.1FLUENT的应用 | 第39-40页 |
| 3.2.2 止推轴承的网格划分和边界条件设置 | 第40-41页 |
| 3.2.3 导入FLUENT的后处理和仿真分析结果 | 第41-43页 |
| 3.2.4 气膜厚度和供气压力对静态特性的影响 | 第43-45页 |
| 3.3 气浮转台的刚度实验分析 | 第45-47页 |
| 3.4 本章小节 | 第47-49页 |
| 第四章 超精密气浮转台的动态特性分析 | 第49-62页 |
| 4.1 气浮转台的模态分析 | 第49-52页 |
| 4.2 气浮转台的回转误差分析 | 第52-61页 |
| 4.2.1 气浮转台回转误差的基本定义 | 第52-53页 |
| 4.2.2 气浮转台回转误差分类和影响因素 | 第53-55页 |
| 4.2.3 气浮转台回转误差的测量方法和数学模型 | 第55-56页 |
| 4.2.4 气浮转台回转误差的精度测试实验 | 第56-61页 |
| 4.3 本章小节 | 第61-62页 |
| 第五章 气浮转台定位精度测试和误差补偿研究 | 第62-88页 |
| 5.1 力矩电机的数学模型 | 第62-65页 |
| 5.2 气浮转台控制环节的Simulink仿真 | 第65-69页 |
| 5.3 气浮转台控制系统参数调节 | 第69-77页 |
| 5.3.1 传统PID控制算法原理 | 第69-70页 |
| 5.3.2 基于UMAC的控制系统的硬件调试方法 | 第70-77页 |
| 5.4 转台定位精度的测试 | 第77-81页 |
| 5.4.1 定位精度的测量原理 | 第77-78页 |
| 5.4.2 定位精度测量系统的搭建和调试 | 第78-79页 |
| 5.4.3 定位精度的测量和评定 | 第79-81页 |
| 5.5 基于UMAC的定位精度补偿 | 第81-86页 |
| 5.5.1 基于UMAC误差补偿原理 | 第82-83页 |
| 5.5.2 转台定位精度补偿过程 | 第83-86页 |
| 5.6 本章小节 | 第86-88页 |
| 总结与展望 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-94页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96页 |