Cu、Ti纳米薄膜原位纳米压痕力学性能表征
| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 纳米薄膜材料 | 第10-13页 |
| 1.1.1 纳米薄膜材料的简介 | 第10-11页 |
| 1.1.2 纳米薄膜材料的性质 | 第11-12页 |
| 1.1.3 纳米薄膜材料的应用发展 | 第12-13页 |
| 1.2 纳米薄膜材料力学性能表征 | 第13-15页 |
| 1.2.1 纳米薄膜材料力学性能表征的意义 | 第13页 |
| 1.2.2 纳米薄膜材料力学性能表征的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 纳米薄膜材料力学性能表征存在的问题 | 第14-15页 |
| 1.3 本课题研究的意义及主要内容 | 第15-18页 |
| 第二章 实验仪器与实验方法 | 第18-30页 |
| 2.1 引言 | 第18-19页 |
| 2.2 实验仪器介绍 | 第19-26页 |
| 2.2.1 磁控溅射仪 | 第19-20页 |
| 2.2.2 原子层沉积仪 | 第20-21页 |
| 2.2.3 T20透射电子显微镜 | 第21-22页 |
| 2.2.4 Quanta250扫描电子显微镜 | 第22-23页 |
| 2.2.5 布鲁克原子力显微镜 | 第23-25页 |
| 2.2.6 SEM/SPM联合测试系统 | 第25-26页 |
| 2.3 实验方法 | 第26-28页 |
| 2.3.1 纳米压痕测试 | 第26-27页 |
| 2.3.2 薄膜力学性能计算方法 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 铜纳米薄膜力学性能原位表征 | 第30-40页 |
| 3.1 引言 | 第30-31页 |
| 3.2 铜纳米薄膜的制备 | 第31-32页 |
| 3.2.1 直流磁控溅射 | 第31-32页 |
| 3.2.2 原子层沉积 | 第32页 |
| 3.3 铜纳米薄膜的结构表征 | 第32-33页 |
| 3.4 铜纳米薄膜的力学性能表征 | 第33-39页 |
| 3.4.1 铜纳米薄膜的压痕实验过程 | 第33-36页 |
| 3.4.2 铜纳米薄膜的弹性模量计算 | 第36-38页 |
| 3.4.3 铜纳米薄膜的力学性能分析 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 钛纳米薄膜力学性能原位表征 | 第40-54页 |
| 4.1 引言 | 第40-43页 |
| 4.2 钛纳米薄膜的制备 | 第43-44页 |
| 4.3 钛纳米薄膜的结构表征 | 第44-46页 |
| 4.4 钛纳米薄膜的力学性能表征 | 第46-51页 |
| 4.4.1 钛纳米薄膜的压痕实验过程 | 第46-48页 |
| 4.4.2 钛纳米薄膜的弹性模量计算 | 第48页 |
| 4.4.3 钛纳米薄膜的力学性能分析 | 第48-51页 |
| 4.5 铜、钛纳米薄膜力学性能对比分析 | 第51页 |
| 4.6 本章小结 | 第51-54页 |
| 第五章 结论与展望 | 第54-58页 |
| 5.1 全文总结 | 第54-55页 |
| 5.2 展望 | 第55-58页 |
| 参考文献 | 第58-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 攻读硕士期间所发表的学术论文 | 第70页 |
