| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 离子源的介绍 | 第9-11页 |
| 1.1.1 离子源的分类 | 第9-10页 |
| 1.1.2 EI型离子源的简介 | 第10页 |
| 1.1.3 EI型离子源的阴极材料 | 第10-11页 |
| 1.2 场致发射的理论基础 | 第11-16页 |
| 1.2.1 场致发射Flower-Nordheim理论 | 第11-13页 |
| 1.2.2 场发射因素 | 第13-14页 |
| 1.2.3 场发射阴极材料研究及其应用发展 | 第14-16页 |
| 1.3 碳纳米管的介绍 | 第16-22页 |
| 1.3.1 碳纳米管的结构与性质 | 第16页 |
| 1.3.2 碳纳米管的制备 | 第16-17页 |
| 1.3.3 碳纳米的场发射机制 | 第17-18页 |
| 1.3.4 碳纳米管场发射阴极的离子源的研究现状 | 第18-22页 |
| 1.4 选题意义及课题主要工作 | 第22-25页 |
| 第二章 CNT场发射阴极离子源的设计与仿真 | 第25-33页 |
| 2.1 场发射三极结构的简介 | 第25页 |
| 2.2 CNT场发射阴极离子源的仿真与优化 | 第25-32页 |
| 2.2.1 CNT场发射的模型建立 | 第25-28页 |
| 2.2.2 栅网网孔的优化设计 | 第28-29页 |
| 2.2.3 CNT场发射离子源离子运动轨迹 | 第29-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 碳纳米管阴极的制备及三极结构场发射性能测试 | 第33-49页 |
| 3.1 碳纳米管阴极的制备与丝网印刷法 | 第33页 |
| 3.2 场发射三极结构组件的设计 | 第33-34页 |
| 3.3 真空测试系统的介绍 | 第34-36页 |
| 3.4 CNT场发射三极结构的实验方案 | 第36-37页 |
| 3.5 CNT阴极场发射三极结构的场发射特性 | 第37-46页 |
| 3.5.1 场发射电流与栅极电压的关系 | 第37-39页 |
| 3.5.2 轮形、方孔形栅网的对比实验 | 第39-42页 |
| 3.5.3 碳纳米管样品的重复性分析 | 第42-43页 |
| 3.5.4 阳极电压对场发射性能的影响 | 第43-46页 |
| 3.6 真空分析室四极质谱扫描结果 | 第46-48页 |
| 3.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 三极结构场发射阴极离子源的实验测试 | 第49-55页 |
| 4.1 实验原理 | 第49-50页 |
| 4.2 三极结构场发射阴极离子源的实验方案 | 第50页 |
| 4.3 三极结构场发射阴极离子源的性能 | 第50-54页 |
| 4.3.1 离子流的影响因素 | 第50-52页 |
| 4.3.2 EI型电离源的真空计应用 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 作者简介 | 第65页 |