基于电光效应的MEMS微结构动态测试研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 MEMS发展概况及背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第10-12页 |
| 1.3 本文主要研究工作和创新 | 第12-14页 |
| 第二章 MEMS微结构三维测量原理 | 第14-26页 |
| 2.1 MEMS测量系统总体框架 | 第14-16页 |
| 2.2 表面形貌测量原理 | 第16-18页 |
| 2.3 三维运动测量原理 | 第18-24页 |
| 2.3.1 频闪成像测量原理 | 第18-21页 |
| 2.3.2 面内运动测量原理 | 第21-22页 |
| 2.3.3 离面运动测量原理 | 第22-24页 |
| 2.4 同步控制原理 | 第24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 MEMS微结构三维动态测量系统总体设计 | 第26-40页 |
| 3.1 光学成像模块 | 第26-28页 |
| 3.1.1 移相器的选择 | 第27-28页 |
| 3.2 图像采集模块 | 第28-31页 |
| 3.3 计算机与MCU通信模块 | 第31-32页 |
| 3.4 FPGA激励触发模块 | 第32-34页 |
| 3.5 数模电路转换模块 | 第34-35页 |
| 3.6 软件测量模块 | 第35-36页 |
| 3.7 同步控制系统的实验结果 | 第36-39页 |
| 3.8 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 MEMS微结构面内运动测量 | 第40-49页 |
| 4.1 模板匹配的基本原理 | 第40-42页 |
| 4.2 亚像素定位算法 | 第42-45页 |
| 4.2.1 标准化协方差相关法 | 第42-43页 |
| 4.2.2 亚像素步长相关法 | 第43-44页 |
| 4.2.3 二次曲面拟合法 | 第44-45页 |
| 4.3 提高匹配速度 | 第45-46页 |
| 4.3.1 单纯形搜索法 | 第45页 |
| 4.3.2 序贯相似性检测算法 | 第45-46页 |
| 4.4 面内运动测量数据分析 | 第46-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 MEMS微结构离面运动测量 | 第49-62页 |
| 5.1 传统路径去包裹算法 | 第49-50页 |
| 5.2 路径无关去包裹算法 | 第50-51页 |
| 5.2.1 最小二乘算法 | 第50-51页 |
| 5.3 路径跟踪去包裹算法 | 第51-53页 |
| 5.3.1 质量导向图算法 | 第51-52页 |
| 5.3.2 Goldstein分割线算法 | 第52-53页 |
| 5.4 新路径预测区域增长算法 | 第53-60页 |
| 5.4.1 包裹相位图的获取 | 第53页 |
| 5.4.2 残差计算 | 第53-54页 |
| 5.4.3 质量图 | 第54页 |
| 5.4.4 区域增长相位去包裹算法 | 第54-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 总结 | 第62-63页 |
| 6.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 读研期间发表论文和参加科研项目的情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
