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Ge基Ⅲ-Ⅴ族半导体能源材料生长与性能研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-9页
第一章 绪论第9-17页
   ·引言第9-10页
   ·III-V族半导体的基本性质和应用第10-11页
   ·Ge衬底上外延III-V族半导体第11-12页
   ·Ge基太阳能电池中的研究进展及主要技术问题第12-15页
   ·本论文的研究内容第15-17页
第二章 实验设备及测试技术第17-27页
   ·金属有机气相外延(MOVPE)概述第17-18页
   ·分子束外延(MBE)系统概述第18-20页
   ·光荧光谱(photoluminescence, PL)第20-21页
   ·透射电子显微镜(transmission electron microscopy, TEM)第21-23页
   ·高分辨X射线衍射(high resolution X-ray diffraction, HRXRD)第23-24页
   ·拉曼光谱(Raman spectra)第24-25页
   ·原子力显微镜(Atomic force microscope, AFM)第25-27页
第三章 Ge基III-V族半导体能源材料MOVPE的生长与性能研究第27-43页
   ·GaInP材料中的有序结构简介第27-29页
   ·影响GaInP有序结构的因素概述第29-31页
   ·基于MOVPE技术生长的Ge基Ga InP材料性质研究第31-42页
   ·本章小结第42-43页
第四章 Ge基III-V族半导体能源材料MBE的生长与性能研究第43-61页
   ·引言第43页
   ·MBE技术中Ge衬底预处理第43-44页
   ·MBE制备Ga As/Ge的研究第44-50页
   ·用 MBE 在 Ge 基上外延 Ga In P第50-58页
   ·本章小结第58-61页
第五章 结论第61-63页
参考文献第63-71页
攻读学位期间所取得的相关科研成果第71-73页
致谢第73-74页

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