用于光学测量的精密五维运动台关键技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-16页 |
| ·研究的目的及意义 | 第6-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-14页 |
| ·本文研究的内容 | 第14-16页 |
| 第二章 子孔径拼接原理 | 第16-22页 |
| ·干涉仪原理 | 第16-18页 |
| ·子孔径拼接检测原理 | 第18-20页 |
| ·精密五维运动台需求分析 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 五维运动台结构设计 | 第22-40页 |
| ·利用CATIA三维软件建模 | 第22页 |
| ·五维运动台总体方案设计 | 第22-23页 |
| ·五维运动台详细设计 | 第23-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 五维运动台动力学分析 | 第40-49页 |
| ·五维运动台的模态分析 | 第40-41页 |
| ·有限元分析软件简介 | 第41-43页 |
| ·模型网格划分 | 第43-44页 |
| ·模态分析 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 五维运动台测试 | 第49-56页 |
| ·五维运动台运动精度测试 | 第49-52页 |
| ·五维运动台模态测试 | 第52-53页 |
| ·五维运动台稳态漂移测试 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 结论与展望 | 第56-57页 |
| ·全文总结 | 第56页 |
| ·前景展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
