| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| ·研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第13-25页 |
| ·NRS曲面加工方法 | 第13-17页 |
| ·FTS的发展现状及分析 | 第17-25页 |
| ·研究目的和研究内容 | 第25-26页 |
| ·本文组织结构 | 第26-28页 |
| 第2章 两自由度FTS研制的必要性讨论 | 第28-36页 |
| ·基于NRS曲面创成的刀具轨迹分析 | 第28-30页 |
| ·基于超精密车床误差补偿的分析 | 第30-34页 |
| ·本章小节 | 第34-36页 |
| 第3章 两自由度FTS装置设计 | 第36-60页 |
| ·驱动器与检测元件 | 第36-41页 |
| ·压电执行器及其工作特性 | 第36-40页 |
| ·电容传感器 | 第40-41页 |
| ·两自由度FTS装置的总体设计 | 第41-45页 |
| ·运动轴的总体布局 | 第42-43页 |
| ·机构的组成与工作原理 | 第43-45页 |
| ·两自由度FTS装置的结构设计 | 第45-56页 |
| ·柔性铰链 | 第45-48页 |
| ·X向运动机构设计 | 第48-52页 |
| ·Z向运动机构设计 | 第52-56页 |
| ·金刚石刀具 | 第56-57页 |
| ·其它问题 | 第57-59页 |
| ·两自由度柔性铰链机构在加工中的注意事项 | 第57-58页 |
| ·压电执行器的预紧 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 两自由度FTS装置的建模与仿真 | 第60-74页 |
| ·基于有限元分析方法的两自由度柔性铰链机构分析 | 第60-65页 |
| ·机构模型的建立 | 第61-62页 |
| ·静力学分析 | 第62-64页 |
| ·动力学分析 | 第64-65页 |
| ·两自由度FTS动力学模型的建立 | 第65-71页 |
| ·压电执行器的动态模型 | 第66-67页 |
| ·两自由度柔性铰链机构X运动轴的机电耦合模型 | 第67-68页 |
| ·两自由度柔性铰链机构Z运动轴的机电耦合模型 | 第68-71页 |
| ·基于MATLAB的系统仿真 | 第71-73页 |
| ·时域瞬态响应 | 第71-72页 |
| ·频域瞬态响应 | 第72-73页 |
| ·本章小节 | 第73-74页 |
| 第5章 两自由度FTS的实验研究 | 第74-90页 |
| ·实验系统组成与实验环境 | 第74-76页 |
| ·实验系统组成 | 第74-76页 |
| ·实验环境 | 第76页 |
| ·FTS装置的静态性能测试 | 第76-81页 |
| ·静态刚度测试 | 第77-78页 |
| ·空载输出能力测试 | 第78-80页 |
| ·分辨率测试 | 第80-81页 |
| ·基于PMAC控制器PID参数调节的FTS动态性能测试 | 第81-87页 |
| ·基于PMAC控制器的PID闭环控制策略 | 第81-83页 |
| ·FTS的阶跃响应测试 | 第83-84页 |
| ·FTS的正弦跟踪性能测试 | 第84-87页 |
| ·本章小节 | 第87-90页 |
| 第6章 总结与展望 | 第90-94页 |
| ·全文总结 | 第90-92页 |
| ·工作展望 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-100页 |
| 附录 | 第100-106页 |
| 附录Ⅰ | 第100-104页 |
| 附录Ⅱ | 第104-106页 |
| 作者简介及攻读硕士学位期间所取得的成果 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108页 |