多晶硅还原炉内硅棒直径在线监测系统的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·多晶硅的发展概况 | 第8-9页 |
| ·多晶硅的分类及生产流程 | 第9-11页 |
| ·多晶硅还原炉内硅棒直径测量技术的发展现状 | 第11页 |
| ·本课题研究的目的和意义 | 第11-12页 |
| ·本课题的主要内容 | 第12-13页 |
| 第2章 图像处理技术在多晶硅测径中的应用 | 第13-29页 |
| ·图像处理概述 | 第13页 |
| ·多晶硅还原炉内的透镜效应及其消除 | 第13-14页 |
| ·图像的直方图变换 | 第14-16页 |
| ·图像的直方图的生成与绘制 | 第14-15页 |
| ·图像的直方图均衡化 | 第15-16页 |
| ·图像的滤波 | 第16-20页 |
| ·图像的噪声模型 | 第17页 |
| ·图像的滤波 | 第17-20页 |
| ·图像的边缘检测 | 第20-27页 |
| ·边缘检测的几种算法 | 第22-25页 |
| ·图像的Hough变换线检测 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 硅棒直径的测量原理 | 第29-43页 |
| ·空间几何变换 | 第29-31页 |
| ·齐次坐标 | 第29页 |
| ·三种坐标系及变换 | 第29-31页 |
| ·摄像机成像系统模型 | 第31-35页 |
| ·线性摄像机模型 | 第32-33页 |
| ·非线性摄像机模型 | 第33-35页 |
| ·摄像机标定 | 第35-39页 |
| ·摄像机标定方法 | 第35-36页 |
| ·张正友标定方法 | 第36-39页 |
| ·双目视觉的测量原理 | 第39-42页 |
| ·平视双目视觉测量原理 | 第39-40页 |
| ·双目视觉测量数学模型 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 硅棒直径测量模拟实验 | 第43-58页 |
| ·摄像机内外参数的标定 | 第43-52页 |
| ·摄像机的标定流程 | 第43-44页 |
| ·摄像机标定的具体实验 | 第44-52页 |
| ·被测物的三维信息 | 第52-57页 |
| ·硅棒直径的模拟测量 | 第53-57页 |
| ·结果讨论 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 还原炉内硅棒直径在线监测系统的设计 | 第58-70页 |
| ·系统结构 | 第58-62页 |
| ·基本设计概念和处理流程 | 第58-59页 |
| ·系统组成及功能 | 第59-62页 |
| ·数据处理模块 | 第62-63页 |
| ·系统现场应用结果 | 第63-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第6章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·全文总结 | 第70页 |
| ·工作展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读研究生期间发表的学术论文 | 第78页 |
