超快激光微加工的实时监测和效果评估
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8-10页 |
| ·激光微加工监测系统介绍 | 第10-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·课题的来源、目的和意义 | 第15页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 超快激光微加工成像监测系统设计 | 第17-30页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·微加工系统介绍 | 第17-18页 |
| ·成像监测系统设计要求 | 第18页 |
| ·光学系统设计要求 | 第18页 |
| ·图像采集系统设计要求 | 第18页 |
| ·光学系统设计 | 第18-29页 |
| ·系统光学原理 | 第18-20页 |
| ·成像中继镜的设计 | 第20-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 超快激光微加工监测系统实验 | 第30-44页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·监测系统实验 | 第30-36页 |
| ·实验装置工作原理 | 第30-32页 |
| ·实验装置组成 | 第32-36页 |
| ·成像系统标定 | 第36-43页 |
| ·标定模型 | 第36-41页 |
| ·标定方法 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 图像法计算微孔几何尺寸 | 第44-57页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·去除噪声 | 第44-46页 |
| ·图像分割 | 第46-54页 |
| ·图像的几何尺寸计算 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 监测系统误差分析及扩展应用 | 第57-66页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·系统误差分析 | 第57-59页 |
| ·光学镜头误差 | 第58页 |
| ·实验中光路调试误差 | 第58页 |
| ·图像处理误差 | 第58-59页 |
| ·监测系统在自动对焦方面的应用 | 第59-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 6 结论与展望 | 第66-68页 |
| (1) 结论 | 第66页 |
| (2) 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
