钾镁交替掺杂BST薄膜相结构特征及介电性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·BST 的基本结构及理论依据 | 第10-13页 |
| ·BST 的结构 | 第10-11页 |
| ·BST 薄膜研究的理论依据 | 第11-13页 |
| ·BST 薄膜在微波调谐领域的应用及性能要求 | 第13-16页 |
| ·BST 薄膜在微波调谐领域的应用 | 第13-15页 |
| ·BST 薄膜应用在微波调谐领域的性能指标 | 第15-16页 |
| ·BST 薄膜掺杂改性研究进展 | 第16-20页 |
| ·掺杂 BST 薄膜相结构特征研究 | 第17页 |
| ·掺杂 BST 薄膜介电性能研究 | 第17-20页 |
| ·论文选题与主要内容 | 第20-21页 |
| 第二章 BST 薄膜制备及实验方案 | 第21-33页 |
| ·传统 Sol-gel 法 | 第21-22页 |
| ·改进的 Sol-gel 法 | 第22-26页 |
| ·溶胶制备 | 第22-24页 |
| ·匀胶工艺 | 第24-26页 |
| ·热处理工艺 | 第26页 |
| ·实验方案 | 第26-28页 |
| ·BST 薄膜的表征与测试方法 | 第28-32页 |
| ·XRD 分析 | 第28页 |
| ·AFM 分析 | 第28-29页 |
| ·XPS 分析 | 第29页 |
| ·SEM 分析 | 第29-30页 |
| ·介电性能分析 | 第30-31页 |
| ·介温特性测试 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 BST 薄膜相结构特征研究 | 第33-57页 |
| ·XRD 分析 | 第33-43页 |
| ·单一掺杂 | 第33-36页 |
| ·交替掺杂 | 第36-40页 |
| ·不同掺杂方式对比 | 第40-43页 |
| ·介温特性测试 | 第43-45页 |
| ·XPS 分析 | 第45-53页 |
| ·单一掺杂 | 第45-49页 |
| ·交替掺杂 | 第49-53页 |
| ·SEM 分析 | 第53-54页 |
| ·AFM 分析 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 BST 薄膜介电性能研究 | 第57-73页 |
| ·掺杂浓度的影响 | 第57-63页 |
| ·单一掺杂 | 第57-61页 |
| ·交替掺杂 | 第61-63页 |
| ·掺杂方式的影响 | 第63-69页 |
| ·频率对比 | 第69-71页 |
| ·层数对比 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 结论及展望 | 第73-75页 |
| ·结论 | 第73-74页 |
| ·展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第82-83页 |
