| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-23页 |
| ·研究背景 | 第12-14页 |
| ·课题的提出 | 第12-14页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·微电铸技术及研究现状 | 第14-16页 |
| ·微电铸技术概念及特点 | 第14-15页 |
| ·国内外有关微电铸技术的研究发展现状 | 第15-16页 |
| ·多物理场对微电铸的影响 | 第16-18页 |
| ·超声场对微电铸过程的影响 | 第16-17页 |
| ·超声场作用下微电铸的研究现状 | 第17-18页 |
| ·磁场作用下的微电铸 | 第18-19页 |
| ·磁场对微电铸过程的影响 | 第18页 |
| ·磁场作用下微电铸的研究现状 | 第18-19页 |
| ·高深宽比微铸件的电铸工艺研究 | 第19-20页 |
| ·影响深宽比的因素 | 第19页 |
| ·微电铸过程的难点 | 第19-20页 |
| ·本文研究的主要内容和目标 | 第20-21页 |
| ·技术路线 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 2 微电铸工艺原理 | 第23-36页 |
| ·电沉积原理 | 第23-28页 |
| ·液相传质过程 | 第23-24页 |
| ·前置化学转化过程 | 第24-25页 |
| ·电子转移 | 第25页 |
| ·金属再结晶 | 第25-26页 |
| ·与电沉积反应相关的电化学参数 | 第26-27页 |
| ·电化学双电层 | 第27-28页 |
| ·电极极化 | 第28-31页 |
| ·浓差极化 | 第29页 |
| ·电化学极化 | 第29-31页 |
| ·电极反应速率与超电势的关系 | 第31页 |
| ·电极反应动力学的 Butler-Volmer 模型 | 第31-32页 |
| ·微电铸的影响因素及工艺流程 | 第32-34页 |
| ·镀液成分的影响作用 | 第32页 |
| ·工艺条件的影响作用 | 第32-34页 |
| ·析氢作用及危害 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 微电铸实验及测试方法 | 第36-45页 |
| ·实验装置 | 第36-37页 |
| ·实验原材料 | 第37-39页 |
| ·阳极材料 | 第37-38页 |
| ·阴极材料 | 第38页 |
| ·镀液组分 | 第38-39页 |
| ·实验方案 | 第39-42页 |
| ·试件的前处理 | 第39-42页 |
| ·镀液配方 | 第42页 |
| ·光刻掩模图案的设计 | 第42-43页 |
| ·微铸件的表征及性能测试方法 | 第43-44页 |
| ·显微硬度测试 | 第43-44页 |
| ·微铸件平均晶粒尺寸测试 | 第44页 |
| ·XRD 分析 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 超声作用下微电铸实验研究 | 第45-56页 |
| ·微电铸工艺选择 | 第45页 |
| ·微电铸工艺参数优化实验 | 第45-54页 |
| ·初期正交实验设计 | 第45-46页 |
| ·正交实验结果与分析 | 第46-49页 |
| ·工艺参数对微铸件表面形貌和织构的影响 | 第49-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 5 磁场-超声波复合作用下的微电铸实验研究 | 第56-69页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·磁场在电沉积中的作用 | 第56-58页 |
| ·磁场对镀液导电能力的影响 | 第56页 |
| ·磁场对镀液覆盖能力的影响 | 第56-57页 |
| ·磁场对离子扩散系数的影响 | 第57页 |
| ·磁化力与阴极极化的关系 | 第57-58页 |
| ·磁场对镀液分散能力的影响 | 第58页 |
| ·实验过程与结果 | 第58-67页 |
| ·正交实验设计 | 第58-59页 |
| ·正交实验结果与分析 | 第59-64页 |
| ·平行磁场对微铸件表面形貌和织构的影响 | 第64-66页 |
| ·垂直磁场作用对微铸件表面形貌和织构的影响 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 6 基于 COMSOL 磁场作用下电沉积过程数值模拟 | 第69-78页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·理论模型的建立 | 第69-72页 |
| ·仿真模型的建立 | 第69-70页 |
| ·物理场的数学模型及仿真条件 | 第70-72页 |
| ·仿真结果及分析 | 第72-76页 |
| ·电镀液流场分布特征 | 第73-74页 |
| ·镀液中电场分布特征 | 第74-75页 |
| ·铸层厚度分布特征 | 第75-76页 |
| ·实验与结果分析 | 第76-77页 |
| ·实验材料及工艺条件 | 第76页 |
| ·结果与讨论 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 7 结论与展望 | 第78-80页 |
| ·结论 | 第78-79页 |
| ·展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |