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电沉积预制膜后硒化法制备CIS薄膜及性能表征

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-23页
   ·太阳能电池第9-14页
     ·太阳能电池的发展背景第9-10页
     ·太阳能电池的分类及应用第10-13页
     ·太阳能电池的工作原理第13-14页
   ·CIS 薄膜太阳能电池第14-22页
     ·CIS 介绍第14-16页
     ·CIS 薄膜太阳能电池介绍第16-18页
     ·国内/外研究进展及现状第18-19页
     ·研究热点第19-22页
   ·本论文的研究内容和意义第22-23页
第2章 实验过程和测试方法第23-31页
   ·引言第23页
   ·CIS 薄膜制备第23-27页
     ·电沉积 Cu-In 预制膜第23-26页
     ·合金化热处理第26-27页
     ·固态源硒化处理第27页
   ·测试方法第27-31页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第27页
     ·能量色散谱仪(EDS)第27-28页
     ·X 射线衍射仪(XRD)第28页
     ·半导体的导电类型测试装置第28-29页
     ·四探针电阻测试第29-31页
第3章 电沉积制备 Cu/In 多层膜第31-41页
   ·引言第31-32页
   ·制备中出现的问题及其解决方案第32-35页
     ·样品制备过程中出现的问题第32-33页
     ·相关解决措施及实施效果第33-35页
   ·工艺参数对薄膜制备的影响第35-40页
     ·电流密度和电镀时间对沉积薄膜质量的影响第35-37页
     ·电镀时间对沉积薄膜表面形貌的影响第37-38页
     ·电镀时间对 Cu/In 多层膜成分的影响第38-40页
   ·本章小结第40-41页
第4章 热处理对 Cu-In 预制膜微观结构的影响第41-47页
   ·引言第41-42页
   ·热处理前 Cu/In 多层膜和 Cu/In 双层膜结构分析第42-43页
   ·热处理后 Cu/In 多层膜和 Cu/In 双层膜结构分析第43-46页
   ·本章小结第46-47页
第5章 硒/硫蒸气产生装置的改进设计及硫化实验第47-55页
   ·引言第47-51页
   ·硒/硫蒸气产生装置的改进设计第51-52页
   ·高温快速硫化 Cu-In 预制膜制备 CIS 薄膜第52-53页
     ·微观结构第52-53页
     ·电学特性第53页
   ·本章小结第53-55页
第6章 总结与展望第55-57页
   ·论文总结第55页
   ·工作展望第55-57页
参考文献第57-61页
致谢第61-62页
攻读学位期间发表论文第62页

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