| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·氧化物半导体气体传感器的研究现状 | 第10-15页 |
| ·氧化物气体传感器元件的设计与组装 | 第10-12页 |
| ·氧化物气体传感器的气敏性能研究现状 | 第12-15页 |
| ·氧气传感器的研究现状 | 第15-18页 |
| ·不同类型的氧气传感器 | 第15页 |
| ·氧化锌氧气传感器 | 第15-18页 |
| ·本论文研究目的与内容 | 第18-20页 |
| 第二章 氧化锌纳米棒膜氧气传感器的制备及气敏测试方法 | 第20-28页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第20-21页 |
| ·氧化锌气敏元件的制备 | 第21-23页 |
| ·氧化锌纳米棒薄膜的制备 | 第21-22页 |
| ·金修饰的氧化锌纳米棒薄膜的制备 | 第22页 |
| ·氧化锌纳米棒基气敏元件的制备 | 第22-23页 |
| ·样品的表征 | 第23-26页 |
| ·ZnO 纳米棒薄膜和 Au 修饰的薄膜的 SEM 和 TEM 表征 | 第23-24页 |
| ·样品的 XRD 表征及分析 | 第24-25页 |
| ·样品的 PL 表征及分析 | 第25-26页 |
| ·样品的气敏性能测试方法 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 金修饰氧化锌纳米棒膜的氧气敏性能 | 第28-35页 |
| ·实验部分 | 第28页 |
| ·实验结果与讨论 | 第28-34页 |
| ·气敏元件电阻随工作温度的变化 | 第28-29页 |
| ·金修饰氧化锌在空气环境中的氧气敏性能 | 第29-31页 |
| ·金修饰氧化锌在氮气环境中的氧气敏性能 | 第31-32页 |
| ·金修饰氧化锌氧气敏的重复性 | 第32-33页 |
| ·气敏机理讨论 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 磁场作用下氧化锌纳米棒膜的氧气敏性能 | 第35-45页 |
| ·实验部分 | 第35-36页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第35页 |
| ·气敏测试过程 | 第35-36页 |
| ·实验结果与讨论 | 第36-44页 |
| ·磁场对氧化锌电阻的影响和磁场大小的选取 | 第36-37页 |
| ·磁场作用下空气环境中氧化锌的氧气敏性能 | 第37-39页 |
| ·磁场作用下氮气环境中氧化锌的氧气敏性能 | 第39-42页 |
| ·磁场作用下样品气敏的稳定性 | 第42-43页 |
| ·磁场对氧气气敏增强的机理 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 乙醇辅助增强氧化锌氧气敏性能的初步研究 | 第45-53页 |
| ·实验过程及样品表征 | 第45-47页 |
| ·样品制备 | 第45页 |
| ·样品表征 | 第45-46页 |
| ·气敏测试方法 | 第46-47页 |
| ·实验结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·乙醇辅助下氧化锌对高浓度氧气的气敏性能 | 第47-49页 |
| ·乙醇辅助下对接近空气浓度氧气的气敏测量 | 第49-50页 |
| ·乙醇辅助下样品氧气敏性能的稳定性 | 第50-52页 |
| ·乙醇辅助下氧气气敏机理讨论 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 全文总结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |