| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·表面等离子体共振(SPR)传感器的基本原理 | 第10-15页 |
| ·表面等离子体(SP)的定义 | 第10-11页 |
| ·表面等离子体共振现象(SPR)的产生 | 第11页 |
| ·表面等离子体共振(SPR)现象的理论分析 | 第11-13页 |
| ·表面等离子体共振(SPR)传感器的基本原理 | 第13-15页 |
| ·表面等离子体共振(SPR)传感器简介 | 第15-22页 |
| ·表面等离子体共振(SPR)传感器的发展历程 | 第15-17页 |
| ·常见表面等离子体共振(SPR)传感器的分类 | 第17-20页 |
| ·常见表面等离子体共振(SPR)传感器的检测方式与其灵敏度的对比 | 第20-22页 |
| ·本论文的章节安排 | 第22页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第22-23页 |
| 第二章 集成光波导SPR传感器器件设计 | 第23-34页 |
| ·现有集成光波导SPR传感器的的研究概况 | 第23-27页 |
| ·现有集成光波导SPR传感器的应用领域介绍 | 第23-24页 |
| ·几种典型的集成光波导SPR生物传感器的介绍 | 第24-27页 |
| ·集成光波导SPR传感器的设计基本原理 | 第27-32页 |
| ·集成光波导SPR传感器的耦合方式的选取 | 第27页 |
| ·集成光波导SPR传感器的传感检测方式的选取 | 第27-28页 |
| ·集成光波导SPR传感器的工作原理简介 | 第28-29页 |
| ·集成光波导SPR传感器入射与出射波导的设计 | 第29-31页 |
| ·入射波导的设计 | 第29-30页 |
| ·出射波导的设计 | 第30-31页 |
| ·集成光波导SPR传感器的金属层的厚度优化 | 第31-32页 |
| ·集成光波导SPR传感器的完整布局与工作方式 | 第32-34页 |
| 第三章 集成光波导SPR传感器的光刻掩膜设计与优化 | 第34-51页 |
| ·光刻掩膜基本原理概述 | 第34-39页 |
| ·光刻掩膜概述 | 第34页 |
| ·常见光刻掩膜的类别及介绍 | 第34-37页 |
| ·光绘聚酯底片(Film Mask) | 第34-35页 |
| ·铬版掩膜版(Chrome Mask) | 第35-36页 |
| ·干版(Emulsion Mask) | 第36页 |
| ·LCD PI印刷版(LCD PI Mask) | 第36-37页 |
| ·集成光波导SPR传感器的掩膜选取与加工 | 第37-39页 |
| ·集成光波导SPR传感器掩膜的保护模块设计 | 第39-43页 |
| ·集成光波导SPR传感器掩膜设计的初步图形 | 第39-40页 |
| ·集成光波导SPR传感器掩膜设计需解决的问题 | 第40页 |
| ·集成光波导SPR传感器掩膜的保护模块测试与设计 | 第40-43页 |
| ·集成光波导SPR传感器掩膜的对准标记设计(Nikon步进式光刻机) | 第43-51页 |
| ·Nikon步进式光刻机的不同对准标记简介与对比 | 第43-48页 |
| ·Nikon步进式光刻机对准系统简介 | 第44-45页 |
| ·Nikon步进式光刻机的对准标记类型简介 | 第45-48页 |
| ·集成光波导SPR传感器掩膜的对准标记选取原则及设计 | 第48-51页 |
| 第四章 集成光波导SPR传感器的工艺制作 | 第51-67页 |
| ·集成光波导SPR传感器工艺制作中的玷污控制 | 第51-54页 |
| ·半导体工艺中常见的硅片玷污类型 | 第51-52页 |
| ·集成光波导SPR传感器工艺制作中的玷污控制 | 第52-54页 |
| ·集成光波导SPR传感器工艺制作中关键尺寸(CD)的控制 | 第54-55页 |
| ·集成光波导SPR传感器工艺中光刻胶的选取 | 第55-57页 |
| ·光刻胶及其物理特性简介 | 第55-56页 |
| ·集成光波导SPR传感器选用的光刻胶及显影液简介 | 第56-57页 |
| ·集成光波导SPR传感器光刻工艺的参数选取 | 第57-63页 |
| ·光刻工艺介绍 | 第57-60页 |
| ·集成光波导SPR传感器光刻方式选取及光刻机简介 | 第60-61页 |
| ·集成光波导SPR传感器光刻工艺参数选取实验 | 第61-63页 |
| ·光刻甩胶速度优化实验 | 第61-62页 |
| ·前烘与后烘温度优化实验 | 第62页 |
| ·曝光量优化实验 | 第62-63页 |
| ·显影时间优化实验 | 第63页 |
| ·集成光波导SPR传感器刻蚀工艺优化 | 第63-66页 |
| ·集成光波导SPR传感器刻蚀工艺简介 | 第64-65页 |
| ·集成光波导SPR传感器的刻蚀工艺优化结果 | 第65-66页 |
| ·集成光波导SPR传感器金属溅射工艺 | 第66-67页 |
| 第五章 集成光波导SPR传感器的实验测试与总结 | 第67-74页 |
| ·集成光波导SPR传感器成品关键参数检测 | 第67-69页 |
| ·集成光波导SPR传感器的测试方案 | 第69-71页 |
| ·集成光波导SPR传感器的初步测试结果与讨论 | 第71-73页 |
| ·集成光波导SPR传感器的制作与测试总结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 附录 | 第78页 |
