太阳能丝网印刷装备硅片步进与对准系统研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
1 绪论 | 第8-15页 |
·课题来源 | 第8页 |
·课题背景、目的和意义 | 第8-9页 |
·相关技术与国内外研究状况 | 第9-13页 |
·主要研究内容 | 第13-15页 |
2 步进与对准系统介绍 | 第15-26页 |
·硅片步进与对准系统工况需求 | 第15-16页 |
·方案设计 | 第16-22页 |
·系统模块布局与机构设计 | 第22-25页 |
·小结 | 第25-26页 |
3 硅片步进方案分析与优化 | 第26-38页 |
·步进方案分析 | 第26-27页 |
·凸轮驱动方案设计与实现 | 第27-31页 |
·凸轮机构运动仿真 | 第31-35页 |
·电机速度规划 | 第35-37页 |
·小结 | 第37-38页 |
4 对准系统设计分析与参数标定 | 第38-51页 |
·对准系统设计 | 第38-40页 |
·对准系统运动学分析 | 第40-42页 |
·补偿与误差分析 | 第42-44页 |
·参数标定 | 第44-50页 |
·小结 | 第50-51页 |
5 硅片步进与对准系统实现 | 第51-57页 |
·动作流程规划 | 第51-54页 |
·步进与对准系统运动实现 | 第54-56页 |
·小结 | 第56-57页 |
6 总结与展望 | 第57-59页 |
·总结 | 第57页 |
·展望 | 第57-59页 |
致谢 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-63页 |
附录 攻读学位期间发表学术论文及取得成果目录 | 第63页 |