| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 图目录 | 第12-16页 |
| 表目录 | 第16-17页 |
| 1 绪论 | 第17-35页 |
| ·引言 | 第17-18页 |
| ·硅基光子学的研究现状 | 第18-22页 |
| ·硅基光开关和光调制器研究现状 | 第22-26页 |
| ·本论文的研究思路及内容 | 第26-29页 |
| 参考文献 | 第29-35页 |
| 2 硅基载流子色散效应及光子集成器件电学结构的仿真 | 第35-55页 |
| ·硅基载流子色散效应 | 第35-37页 |
| ·器件电学结构的仿真分析 | 第37-50页 |
| ·常见的电学结构 | 第37-41页 |
| ·电学结构的仿真分析 | 第41-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 3 基于pin结的硅基光波导开关设计及制作 | 第55-79页 |
| ·基本光开关功能结构 | 第55-57页 |
| ·多模干涉器件 | 第55-56页 |
| ·马赫-曾德尔干涉仪 | 第56-57页 |
| ·基本开关单元的设计与仿真 | 第57-61页 |
| ·光开关电学结构的动静态仿真 | 第58-59页 |
| ·基于pin的基本光开关单元的设计与仿真 | 第59-61页 |
| ·硅基光开关阵列和光开关模块的设计 | 第61-64页 |
| ·硅基光开关阵列的设计 | 第61-62页 |
| ·硅基光开关模块的设计 | 第62-63页 |
| ·版图 | 第63-64页 |
| ·采用的工艺流程 | 第64-65页 |
| ·芯片的制作及测试结果 | 第65-74页 |
| ·芯片制作结果 | 第65页 |
| ·采用的测试系统 | 第65-67页 |
| ·器件测试结果 | 第67-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 4 基于反向pn结构的硅基微环传输系统高速特性的研究 | 第79-105页 |
| ·引言 | 第79-80页 |
| ·基于硅基微环相关光功能模块的建模 | 第80-88页 |
| ·微环谐振腔基本特性 | 第80-82页 |
| ·基于微环相关光功能器件建模 | 第82-88页 |
| ·基于硅基微环传输系统的高速传输特性的分析 | 第88-99页 |
| ·传输格式介绍 | 第88-90页 |
| ·10Gbit/s硅基微环调制系统特性实现 | 第90-96页 |
| ·基于不同传输格式的系统性能比较 | 第96-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 5 总结与展望 | 第105-109页 |
| ·总结 | 第105-106页 |
| ·展望 | 第106-109页 |
| 作者简历及攻读博士学位期间的研究成果 | 第109页 |