用于ESI的MEMS空气放大器的设计、模拟、制作及测试
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·电喷雾离子化概述 | 第10页 |
| ·电喷雾离子形成机理 | 第10-13页 |
| ·ESI-MS离子输运效率的研究 | 第13-14页 |
| ·应用于ESI的空气放大器 | 第14-17页 |
| ·空气放大器概述 | 第14页 |
| ·空气放大器在ESI中的应用 | 第14-17页 |
| ·微流控芯片的研究现状 | 第17-18页 |
| ·微流控系统特点 | 第17页 |
| ·微流控系统的材料与工艺 | 第17-18页 |
| ·课题研究主要内容 | 第18-20页 |
| 2 MEMS空气放大器的设计与理论 | 第20-27页 |
| ·概述 | 第20页 |
| ·MEMS空气放大器系统设计 | 第20-22页 |
| ·材料的选择 | 第20-21页 |
| ·空气放大器结构设计 | 第21-22页 |
| ·微流体动力学理论 | 第22-26页 |
| ·概述 | 第22页 |
| ·流场属性确定 | 第22-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 空气放大器的ANSYS/CFD分析及优化 | 第27-38页 |
| ·概述 | 第27页 |
| ·ANSYS软件简介 | 第27-28页 |
| ·ANSYS/CFD分析预处理 | 第28-30页 |
| ·选择单元和材料属性 | 第28页 |
| ·建立模型 | 第28页 |
| ·边界条件与网格 | 第28-29页 |
| ·FLOTRAN分析参数设定 | 第29-30页 |
| ·数值分析 | 第30-37页 |
| ·2D数值分析 | 第30-33页 |
| ·3D数值分析 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 MEMS空气放大器的制作 | 第38-48页 |
| ·概述 | 第38页 |
| ·SU-8胶模具的制作 | 第38-41页 |
| ·仪器和试剂 | 第38-39页 |
| ·SU-8胶性能 | 第39页 |
| ·微加工 | 第39-41页 |
| ·PDMS空气放大器芯片制作 | 第41-46页 |
| ·仪器试剂 | 第42页 |
| ·浇注PDMS芯片 | 第42页 |
| ·PDMS-PDMS键合 | 第42-46页 |
| ·玻璃基板与PDMS键合 | 第46-47页 |
| ·氮气气路连接 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 ESI测试与MEMS空气放大器性能分析 | 第48-56页 |
| ·概述 | 第48页 |
| ·实验材料与测试平台 | 第48-49页 |
| ·ESI理论研究 | 第49-50页 |
| ·电喷雾电压 | 第49页 |
| ·电喷雾电流 | 第49-50页 |
| ·ESI特性研究 | 第50-52页 |
| ·ESI开启电压 | 第50-51页 |
| ·ESI流量对喷雾特性的影响 | 第51-52页 |
| ·MEMS空气放大器性能测试 | 第52-55页 |
| ·检测探针位置和氮气压力对检测电流的影响 | 第52-53页 |
| ·ESI流量对检测电流的影响 | 第53-54页 |
| ·喷针位置对检测电流的影响 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
