| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第14-16页 |
| ·课题背景 | 第14-15页 |
| ·研究意义 | 第15-16页 |
| ·国内外研究现状 | 第16-23页 |
| ·纳米薄膜润滑在MEMS/NEMS 系统中的应用 | 第16-17页 |
| ·自组装薄膜技术研究现状 | 第17-19页 |
| ·稀土元素在纳米摩擦及润滑领域中的应用 | 第19-20页 |
| ·MEMS 纳米摩擦学研究中存在的问题及发展趋势 | 第20-21页 |
| ·有序分子膜的纳米摩擦学研究现状 | 第21-23页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·本论文研究拟解决的关键问题 | 第24-26页 |
| 第二章 稀土复合自组装薄膜的制备 | 第26-43页 |
| ·前言 | 第26页 |
| ·稀土复合自组装薄膜在单晶硅基底表面的制备 | 第26-31页 |
| ·试验材料和试剂 | 第27-28页 |
| ·硅基片表面的羟基化处理 | 第28-29页 |
| ·氨基硅烷在硅基片表面的自组装 | 第29页 |
| ·氨基硅烷自组装薄膜表面-NH2 官能团的原位磷酸化 | 第29-30页 |
| ·稀土复合自组装薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·稀土复合自组装薄膜组装各阶段的表征 | 第31-42页 |
| ·表征参数及相关仪器介绍 | 第31-32页 |
| ·氨基硅烷自组装薄膜的表征 | 第32-34页 |
| ·磷酸化后氨基硅烷薄膜的表面性能表征 | 第34-37页 |
| ·氨基硅烷稀土复合薄膜的表面性能表征 | 第37-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 稀土复合自组装膜的组装机理研究及分子动力学模拟 | 第43-67页 |
| ·前言 | 第43页 |
| ·稀土复合自组装薄膜的组装机理研究 | 第43-46页 |
| ·有机硅烷基底膜类型的选择 | 第43-44页 |
| ·稀土元素在所选氨基硅烷表面组装机理 | 第44-46页 |
| ·稀土复合自组装薄膜组装过程的热力学研究 | 第46-49页 |
| ·稀土复合自组装薄膜组装过程的化学反应热分析 | 第46-47页 |
| ·组装薄膜的表面自由能的计算 | 第47-49页 |
| ·稀土复合自组装薄膜组装过程的反应动力学研究 | 第49-55页 |
| ·稀土溶液PH 值对稀土元素化学吸附过程的反应动力学影响 | 第49-52页 |
| ·稀土溶液浓度对稀土元素化学吸附过程的反应动力学影响 | 第52-53页 |
| ·稀土复合自组装薄膜组装过程的动力学研究 | 第53-55页 |
| ·薄膜自组装过程的分子动力学模拟 | 第55-65页 |
| ·Materials Studio 软件介绍 | 第55页 |
| ·氨基硅烷在硅基片上组装过程的分子动力学分析 | 第55-62页 |
| ·氨基硅烷原位磷酸化过程分析 | 第62-64页 |
| ·稀土复合氨基硅烷自组装过程分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第四章 稀土复合自组装薄膜的纳米摩擦学性能测试 | 第67-83页 |
| ·前言 | 第67页 |
| ·稀土复合自组装薄膜的纳米摩擦实验过程 | 第67-71页 |
| ·原子力显微镜介绍及其在纳米摩擦学实验中的应用 | 第67-70页 |
| ·粘附力及摩擦系数的测试 | 第70-71页 |
| ·硅基片和自组装薄膜纳米摩擦学性能研究 | 第71-78页 |
| ·温度对纳米摩擦力和粘附力的影响 | 第71-73页 |
| ·载荷对纳米摩擦力和粘附力的影响 | 第73-75页 |
| ·湿度对纳米摩擦力和粘附力的影响 | 第75-77页 |
| ·扫描速度对纳米摩擦力和粘附力的影响 | 第77-78页 |
| ·粘滑效应 | 第78-81页 |
| ·粘滑效应实验表征 | 第78-80页 |
| ·粘滑模型及分析 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 第五章 稀土复合自组装薄膜微观磨损性能研究 | 第83-92页 |
| ·前言 | 第83页 |
| ·硅基片及自组装薄膜的微观磨损试验过程 | 第83-85页 |
| ·微观磨损的表征及研究方法 | 第83-84页 |
| ·微观磨损试验步骤 | 第84-85页 |
| ·硅基片和自组装薄膜微观磨损研究 | 第85-91页 |
| ·法向载荷对微观磨损的影响 | 第85-87页 |
| ·摩擦循环次数对微观磨损的影响 | 第87-89页 |
| ·纵向滑动速度对微观磨损的影响 | 第89-90页 |
| ·横向移动步距对微观磨损的影响 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第六章 稀土复合自组装薄膜的纳米摩擦影响因素及机理研究 | 第92-104页 |
| ·前言 | 第92页 |
| ·硅基片和自组装薄膜纳米摩擦机理研究 | 第92-101页 |
| ·薄膜表面的表面力分析 | 第92-95页 |
| ·粘附力对薄膜表面纳米摩擦力的影响 | 第95-96页 |
| ·硅基片和组装薄膜表面粘着功的讨论 | 第96-99页 |
| ·纳米摩擦弹簧双振子模型 | 第99-101页 |
| ·稀土复合自组装薄膜微观磨损耐磨机理研究 | 第101-103页 |
| ·微观磨损的鹅卵石模型 | 第101-102页 |
| ·稀土复合自组装薄膜耐磨机理研究 | 第102-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 第七章 总结与展望 | 第104-107页 |
| ·论文主要内容及结论 | 第104-105页 |
| ·研究展望 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-113页 |
| 附录 | 第113-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 作者攻读硕士期间已发表或录用的论文 | 第120-121页 |
| 作者攻读硕士学位期间申请的发明专利 | 第121-122页 |
| 作者攻读硕士期间获得的奖励及荣誉 | 第122页 |
