| 摘 要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 引言 | 第8-17页 |
| ·铁电材料简介 | 第8-17页 |
| 2 实验方法 | 第17-24页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第17-19页 |
| ·薄膜光刻工艺 | 第19-20页 |
| ·薄膜结构和形貌测试方法 | 第20-21页 |
| ·薄膜的介电性能测试方法 | 第21-24页 |
| 3 PB_(0.35)SR_(0.65)TiO_3薄膜制备及其结构、表面形貌和介电性能研究 | 第24-42页 |
| ·PB_(0.35)SR_(0.65)TiO_3铁电材料简介 | 第24-25页 |
| ·PB_(0.35)SR_(0.65)TiO_3靶的制备 | 第25-27页 |
| ·PB_(0.35)SR_(0.65)TiO_3薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·PB_(0.35)SR_(0.65)TiO_3薄膜结构、表面形貌和介电性能的研究 | 第28-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 4 BA_(0.1)SR_(0.9)TiO_3薄膜制备及其介电性能研究 | 第42-49页 |
| ·BA_(0.1)SR_(0.9)TiO_3铁电材料简介 | 第42-43页 |
| ·BA_(0.1)SR_(0.9)TiO_3/YBCO 异质薄膜简介 | 第43页 |
| ·BA_(0.1)SR_(0.9)TiO_3/YBCO 异质结构薄膜的制备 | 第43-44页 |
| ·YBCO 薄膜的厚度对BA_(0.1)SR_(0.9)TiO_3薄膜的介电性能的影响 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 总结 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 攻读硕士学位期间的科研情况 | 第56-58页 |
| 发表论文列表 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
