高频低相噪声表面横波振荡器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-10页 |
| ·背景 | 第8页 |
| ·国内外研究进展 | 第8-9页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第9-10页 |
| 第二章 声表面横波谐振器理论及设计 | 第10-31页 |
| ·声表面横波 | 第10-13页 |
| ·声表面横波谐振器 | 第13-22页 |
| ·反射栅 | 第14-18页 |
| ·基本结构 | 第14-15页 |
| ·反射特性 | 第15页 |
| ·周期栅特性 | 第15-18页 |
| ·叉指换能器 | 第18-22页 |
| ·声表面横波谐振器设计 | 第22-30页 |
| ·横波谐振器设计基础 | 第22-25页 |
| ·材料选择 | 第25页 |
| ·栅结构 | 第25-26页 |
| ·铝膜厚度设计 | 第26-27页 |
| ·结构设计 | 第27-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第三章 振荡器理论及应用 | 第31-48页 |
| ·振荡器理论 | 第31-35页 |
| ·相位噪声 | 第35-42页 |
| ·相位噪声分析 | 第37-40页 |
| ·减少相位噪声的措施 | 第40-42页 |
| ·振荡器电路设计 | 第42-47页 |
| ·放大电路设计 | 第42-44页 |
| ·振荡器仿真 | 第44-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第四章 声表面波振荡器工艺研究 | 第48-58页 |
| ·初始工艺选择 | 第48-52页 |
| ·基片清洗 | 第48-50页 |
| ·铝膜制备 | 第50-51页 |
| ·甩胶 | 第51页 |
| ·曝光 | 第51页 |
| ·腐蚀 | 第51-52页 |
| ·剥离 | 第52页 |
| ·试验结果分析及工艺改进 | 第52-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第五章 声表面横波振荡器实验结果分析 | 第58-65页 |
| ·结构参数对谐振器传输特性的影响 | 第58-62页 |
| ·声表面横波振荡器的测试 | 第62-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第70-71页 |
