X波段RF-MEMS电调滤波器的研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-14页
·研究的背景	第8-10页
·RF-MEMS 电调滤波器的发展及研究现状	第10-12页
·RF-MEMS 电调滤波器的设计指标	第12页
·论文的内容安排	第12-14页
第二章 微带电路部分的分析与设计	第14-27页
·微带电路部分的分析	第14-21页
·电调滤波器的电路模型	第15-16页
·滤波器的二端口导纳矩阵分析	第16-17页
·电容加载的开环谐振器的导纳矩阵分析	第17-19页
·电调滤波器的导纳矩阵分析	第19-21页
·微带电路部分的设计与仿真	第21-27页
·微带开环谐振器的长度的设计	第21-23页
·微带开环谐振器耦合间距的设计	第23-24页
·加载电容CL 和CM 的计算与验证	第24-27页
第三章 RF-MEMS 开关电容网络的分析与设计	第27-57页
·RF-MEMS 开关的机械性能和电磁性能的分析	第27-36页
·RF-MEMS 开关的机械性能的分析	第27-32页
·下拉电压的分析	第28-30页
·下拉时间和释放时间的分析	第30-32页
·RF-MEMS 开关的电磁性能的分析	第32-36页
·开关的等效电路模型	第32-33页
·开关的最大输入功率分析	第33-34页
·开关的线性度分析	第34-36页
·RF-MEMS 开关电容网络电气性能的分析	第36-40页
·开关电容网络基本单元分析	第36-38页
·开关电容网络等效电路分析	第38-40页
·RF-MEMS 开关电容网络的设计与仿真	第40-55页
·开关电容网络的等效电路参数的计算	第40-43页
·开关电容网络的电气性能的仿真	第43-45页
·开关电容网络的机械性能的验证	第45-49页
·RF-MEMS 开关的驱动电压	第46-47页
·RF-MEMS 开关的下拉时间和释放时间	第47-49页
·开关电容网络线性度的仿真	第49-55页
·电调滤波器整体电路的电磁仿真	第55-57页
第四章 RF-MEMS 电调滤波器的工艺加工方法	第57-60页
·工艺材料的选取	第57-58页
·工艺流程	第58-60页
第五章 总结与展望	第60-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-65页
攻读硕士期间取得的研究成果	第65-66页