| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪 论 | 第8-14页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·基于SPM纳米加工技术研究现状 | 第8-13页 |
| ·扫描探针加工技术的特点 | 第9页 |
| ·扫描探针加工方法 | 第9-13页 |
| ·本课题研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 AFM阳极氧化法纳米加工机理 | 第14-24页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·AFM工作原理 | 第14-16页 |
| ·SPM电场加工理论 | 第16-18页 |
| ·AFM阳极氧化法加工机理分析 | 第18-22页 |
| ·大气状态下AFM所处的环境 | 第18-21页 |
| ·AFM阳极氧化加工机理 | 第21-22页 |
| ·硅表面的电场氧化机理 | 第22-23页 |
| ·硅表面的自然氧化机理 | 第22页 |
| ·硅表面的电场诱导氧化机理 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 基于AFM纳米加工系统组建 | 第24-32页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·纳米加工系统的硬件设计 | 第24-27页 |
| ·串行异步通讯的硬件实现 | 第24-25页 |
| ·D/A信号处理方式 | 第25-26页 |
| ·SAM(Signal Access Module)工作原理 | 第26-27页 |
| ·三维微动工作台工作原理 | 第27页 |
| ·纳米加工系统的软件设计 | 第27-30页 |
| ·矢量加工子程序设计 | 第28-29页 |
| ·点阵加工子程序设计 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第4章 阳极氧化的实验研究和精度分析 | 第32-46页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·阳极氧化实验准备 | 第32-35页 |
| ·样品的制备 | 第33-34页 |
| ·导电探针 | 第34-35页 |
| ·实验步骤 | 第35页 |
| ·不同加工参数对加工的影响 | 第35-41页 |
| ·不同偏置电压的影响 | 第36-38页 |
| ·不同加工速度的影响 | 第38-41页 |
| ·阈值电压的分析 | 第41-42页 |
| ·复杂结构的加工 | 第42-43页 |
| ·系统加工精度的影响因素分析 | 第43-44页 |
| ·探针针尖对加工的影响 | 第44页 |
| ·电磁噪声和温度对加工的影响 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第51-52页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第52页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第52页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |