收集振动能的压电微电池设计和制作工艺研究
| 独创性说明 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·MEMS技术概述 | 第9-10页 |
| ·微能源及其研究现状 | 第10-19页 |
| ·燃料型微电池 | 第10-12页 |
| ·储能型微电池 | 第12-13页 |
| ·核能微电池 | 第13页 |
| ·收集环境能微电池 | 第13-19页 |
| ·本课题研究内容 | 第19-21页 |
| 2 振动能收集系统结构设计与仿真 | 第21-34页 |
| ·系统结构模型 | 第21-26页 |
| ·振动源形式 | 第21页 |
| ·振动原理模型 | 第21-23页 |
| ·压电特性 | 第23-25页 |
| ·机械能到电能转换过程 | 第25-26页 |
| ·仿真过程和结果 | 第26-33页 |
| ·模型简化 | 第27页 |
| ·材料属性 | 第27-28页 |
| ·单元类型和网格划分 | 第28-30页 |
| ·模态分析 | 第30-31页 |
| ·谐响应分析 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 溶胶-凝胶法制备 PZT铁电薄膜 | 第34-46页 |
| ·PZT薄膜制备技术及其特点 | 第34-36页 |
| ·溶胶-凝胶法制备 PZT铁电薄膜 | 第36-42页 |
| ·溶胶-凝胶法制备 PZT薄膜原理 | 第37页 |
| ·衬底和底电极选择 | 第37页 |
| ·溶胶制备 | 第37-40页 |
| ·PZT薄膜制备 | 第40-42页 |
| ·PZT薄膜性能表征 | 第42-45页 |
| ·XRD分析 | 第42-43页 |
| ·I/V曲线 | 第43-44页 |
| ·电滞回线 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 悬臂梁制作工艺 | 第46-60页 |
| ·悬臂梁结构 | 第46-47页 |
| ·SiO_2制备和湿法腐蚀 | 第47-49页 |
| ·SiO_2制备 | 第47-48页 |
| ·SiO_2湿法腐蚀 | 第48-49页 |
| ·硅的刻蚀 | 第49-51页 |
| ·Si湿法腐蚀 | 第49-50页 |
| ·硅干法刻蚀 | 第50-51页 |
| ·Pt/Ti电极制备 | 第51-55页 |
| ·下电极图形化 | 第52-53页 |
| ·上电极图形化 | 第53-55页 |
| ·PZT薄膜图形化 | 第55-56页 |
| ·硅基压电微型悬臂梁制备过程 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录A 掩模版 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第71页 |
